protección de componentes críticos
En la fabricación de semiconductores, la contaminación puede provocar defectos, fallos eléctricos o fallos completos, lo que se traduce en problemas de calidad y pérdidas de rendimiento de la producción. La contaminación por partículas es bien conocida y controlada, pero en el caso de las tecnologías avanzadas, los materiales y los procesos son más sensibles a la contaminación molecular en el aire (AMC).
Los filtros AMC desempeñan un papel fundamental en la eliminación de contaminantes moleculares como ácidos, bases, dopantes y compuestos orgánicos volátiles (COV), protegiendo la fabricación de chips lógicos o de memoria.
He aquí seis consideraciones esenciales para seleccionar el filtro molecular adecuado para la fabricación de semiconductores:
Thi-Quynh
Nguyen Mazo
Responsable de Producto para Europa,
Filtración Molecular Industrial
Uno de los principales factores a tener en cuenta a la hora de elegir un filtro molecular es su eficacia de filtración . Los filtros AMC se instalan en los sistemas de las instalaciones y sobre las herramientas o el entorno de las herramientas. En las fábricas avanzadas, los procesos de fabricación de obleas funcionan con una concentración de AMC de pocas ppb (partes por billón) o niveles sub ppb, especialmente en áreas críticas como la litografía. Los filtros de alta eficacia garantizan una eliminación eficaz de los contaminantes minimizando el riesgo de contaminación y defectos en las obleas semiconductoras.
En Camfil, la eficacia de nuestros media filtrantes moleculares y AMC se prueba rigurosamente según las normas ISO 10121 en condiciones muy próximas a las aplicaciones del mundo real.
En la fabricación de semiconductores intervienen diversos gases de proceso y sustancias químicas, cada uno de los cuales plantea retos de filtración únicos. Algunas impregnaciones químicas de los filtros pueden reaccionar con estas sustancias, creando subproductos nocivos. Es crucial seleccionar filtros moleculares que sean químicamente compatibles con las sustancias presentes en el entorno de producción. El uso de la media molecular correcta garantizará que se maximice la tasa de adsorción y se reduzcan las tasas de contaminación.
En Camfil utilizamos una gama completa de diferentes medias diseñadas para tratar su contaminante molecular.
La longevidad y los requisitos de mantenimiento de los filtros moleculares repercuten significativamente en los costes operativos y la eficacia de la producción. A la hora de elegir el filtro adecuado, el rendimiento y la vida útil son fundamentales. Asegúrese de que se elige una solución probada frente a sus contaminantes específicos y de que la vida útil de los cambios se optimiza en función de los niveles mínimos de rendimiento.
El exclusivo software MCCLD de Camfil predice con precisión la vida útil de su instalación de filtración molecular, mientras que CLEAN AMC optimiza el concepto de control total de AMC y el coste de explotación. CLEAN AMC permite simular distintas soluciones de filtración para recopilar información sobre las concentraciones de AMC alcanzables en distintas partes de un sistema de sala blanca, por ejemplo, por encima del techo, por debajo de los filtros FFU o como concentración media de sala blanca en AHU de retorno. Estas herramientas ayudan a adaptar las soluciones de AMC en función de los parámetros de su planta de producción, proporcionando un rendimiento y una vida útil optimizados.
Las salas limpias de fabricación de semiconductores se rigen por estrictas normas de limpieza, por lo que los filtros elegidos deben cumplir o superar estos requisitos. Asegúrese de que los filtros moleculares cumplen las clasificaciones y normativas de las salas limpias, así como la norma ISO10121, para garantizar que se ajustan a su finalidad. Los filtros deben estar diseñados para integrarse perfectamente en la sala blanca o el entorno controlado, con características como juntas sin fugas, desprendimiento mínimo de partículas, baja desgasificación de AMC y compatibilidad con los sistemas de control del caudal de aire. La elección de filtros que cumplan las normas de salas limpias garantiza el mantenimiento de las condiciones ultralimpias esenciales para la fabricación de semiconductores.
La fabricación de semiconductores es una industria dinámica caracterizada por los rápidos avances tecnológicos y la evolución de las exigencias de producción. A la hora de seleccionar filtros moleculares, tenga en cuenta su escalabilidad y su potencial de cara al futuro. Elija filtros moleculares y sistemas que puedan ampliarse fácilmente para adaptarse a la demanda futura de su sala blanca.
En Camfil, la I+D es el núcleo de nuestra empresa. Con los laboratorios de desarrollo de filtración molecular, nuestro objetivo es introducir en el mercado los filtros más eficientes (tanto en rendimiento de filtración como en rendimiento energético). Al considerar cuidadosamente estos factores, los fabricantes de semiconductores pueden asegurarse de que seleccionan las soluciones de filtración AMC más eficaces, protegiendo los componentes y procesos críticos y manteniendo altos rendimientos de producción.
Los costes energéticos tienen una enorme repercusión en la fabricación de semiconductores. Garantizar la calidad adecuada del aire en los entornos controlados es clave para optimizar el proceso de fabricación. Con la eliminación de la filtración AMC, garantizar que los contaminantes moleculares se capturen de forma eficiente desde el punto de vista energético puede suponer un gran ahorro.
En Camfil, nuestros filtros AMC están diseñados para reducir la pérdida de carga en su sistema HVAC. Se ha demostrado que nuestro CamCarb XG reduce el consumo energético hasta en un 35% en comparación con otras soluciones de filtros AMC comparables ver más.
Escrito por: Thi Quynh Nguyen Mazo, Responsable de Productos para Europa Filtración Molecular Industrial
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