Mejore el rendimiento de sus procesos con soluciones completas para la fabricación avanzada de semiconductores.
En las fábricas de semiconductores, la microcontaminación puede plantear serios problemas. Camfil ofrece una amplia gama de soluciones (prefiltros de partículas, filtros HEPA y ULPA y soluciones de control de la CMS) para reducir las concentraciones moleculares y de partículas de las salas blancas a los niveles ISO clase 1 en el caso de las partículas y de subpartes por billón en el caso de la CMS.
La contaminación molecular en suspensión (CMS) presenta dificultades especiales en la fabricación de semiconductores de pequeñas dimensiones. Las reacciones químicas no deseadas de ácidos, bases, compuestos orgánicos, refractarios y dopantes pueden afectar a las superficies de las obleas y a la óptica de los equipos de procesos, con lo que se crean defectos durante la producción de chips y se reduce la eficacia de los equipos y las herramientas.
La CMS es cada vez más importante en los procesos de fabricación críticos en salas blancas. A medida que las especificaciones se vuelven más exigentes y los tamaños de los dispositivos disminuyen, el control de los procesos se enfrenta a una presión enorme. Las obleas pueden pasar todo un mes dentro de la fábrica, sometiéndose a cientos de procesos antes de enviarse como parte del producto final. Cualquier efecto mínimo de la contaminación en esta cadena de procesos puede tener consecuencias graves para la producción general de la fábrica.
Las soluciones de Camfil proporcionan una protección demostrada (tanto en laboratorio como en la práctica) para entornos de fabricación de semiconductores, incluidos los entornos de litografía, grabado, difusión, metalización, película fina, implantación de iones, herramientas de inspección y almacenamiento de retículas u obleas.
La gama de prefiltros de partículas de Camfil garantiza un consumo de energía mínimo en las unidades de reposición de aire, además de proteger los filtros HEPA de la obstrucción sin liberar boro. Los filtros HEPA y ULPA de Camfil están diseñados para liberar el mínimo posible de contaminantes orgánicos (baja desgasificación), algo que se consigue tras años de desarrollo de las propiedades químicas de adhesivos y materiales filtrantes. Los sistemas de extracción de aire para el corte de obleas, así como los depuradores de gases para los sistemas generales de extracción auxiliares, protegen el entorno de la contaminación de los procesos.
Proteja al medio ambiente y a las personas contra concentraciones altas o peligrosas de partículas y moléculas liberadas por procesos industriales, cumpla con las normas de seguridad locales y reduzca los costos operativos de su sistema de filtración de aire.
Las unidades de aire de recirculación se utilizan para proporcionar aire limpio y templado a las instalaciones como complemento o sustituto de los sistemas de techo y las unidades filtrantes con ventilador. El aire recirculado necesita filtración para proteger a las personas, a los procesos y a los productos.
Los procesos microelectrónicos en salas limpias o mini entornos requieren protección contra partículas y contaminantes gaseosos moleculares. Los procesos incluyen litografía, reveladores de revestimientos, grabado, difusión, metalización, implantación de iones, herramientas de inspección y almacenadores de retículas.
Los techos para salas limpias están diseñados para proporcionar altos niveles de protección contra moléculas (fase gaseosa), nanopartículas y partículas en equipos, procesos y productos manufacturados para ellas. Los techos utilizan flujos de aire laminar o turbulento según el diseño de la sala.
Las unidades de tratamiento de aire que proporcionan aire acondicionado al aire libre para las industrias son una parte crítica en las instalaciones, para crear una sobrepresión en la habitación y compensar el aire de extracción. El aire acondicionado necesita una filtración adecuada para proteger bobinas y conductos, personas, procesos y productos.
CamCarb XG Diseñado para ahorrar energía y costes de mantenimiento en aplicaciones de control de la contaminación molecular
Edificios publicos comerciales Electronica optica Industria alimentariaA menudo, el precio inicial de compra de filtros de aire o captadores de polvo es sólo la punta del iceberg. Los verdaderos costes de energía, mantenimiento y eliminación acechan bajo la superficie. Para tomar la decisión más económica a largo plazo, un cálculo detallado que tenga en cuenta todos los factores le ayudará a reducir el gasto total.
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No todas las personas que compran nuestros productos son expertos en filtración de aire y no tendrían por qué serlo. El objetivo de Camfil City es dar a todo el mundo la oportunidad de aprender los fundamentos de cómo nuestras soluciones de aire limpio pueden ayudarles.
La filtración HEPA es necesaria en una gama de diferentes industrias de productos farmacéuticos, hospitales, microelectrónica e incluso la industria de alimentos y bebidas. Conozca las tendencias cambiantes en los requisitos de filtración HEPA, cómo ha avanzado la filtración HEPA en los últimos años y cómo identificar y reducir los costes asociados a sus requisitos de aire limpio.
Algunos de los efectos de la corrosión incluyen un deterioro significativo de los monumentos naturales e históricos.
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