Verbessern Sie Ihre Prozesserträge mit Komplettlösungen für die moderne Halbleiterfertigung.
In der Halbleiterfertigung können Mikroverunreinigungen erhebliche Probleme verursachen. Camfil bietet eine breite Palette an Lösungen, darunter Partikelvorfilter, HEPA- und ULPA-Filter sowie AMC-Kontrolllösungen, mit denen sich die Partikel- und Molekülverunreinigungen in Reinräumen auf Werte der ISO-Klasse 1 für Partikel und im sub-ppb-Bereich für luftgetragene Molekülverunreinigungen reduzieren lassen.
Molekulare Verunreinigungen, die durch die Luft übertragen werden, stellen eine besondere Herausforderung für die Herstellung von Halbleitern in kleinen Dimensionen dar. Unerwünschte chemische Reaktionen von Säuren, Basen, organischen Substanzen, feuerfesten Materialien und Dotierstoffen können Wasseroberflächen und das Aussehen von Prozessgeräten beeinflussen, was zu Defekten während der Chipherstellung führen und die Effizienz von Geräten und Werkzeugen verringern kann.
Das Problem der durch die Luft übertragenen molekularen Verunreinigungen gewinnt in Reinraumfertigungsprozessen zunehmend an Bedeutung. Mit immer anspruchsvolleren Spezifikationen und immer kleineren Geräten steht die Prozesssteuerung unter enormem Druck. Halbleiterscheiben können einen ganzen Monat in einer Fabrik verbringen und unzählige Prozesse durchlaufen, bevor sie zu einem Endprodukt verarbeitet werden. Eine kleine Verunreinigung in diesem Prozess kann erhebliche Auswirkungen auf den Gesamtertrag der Fabrik haben.
Die Lösungen von Camfil bieten in der Praxis und im Labor bewährten Schutz in Halbleiterfertigungsumgebungen, einschließlich Lithografie, Ätzen, Diffusion, Metallisierung, Dünnfilm, Ionenimplantation, Testwerkzeugen und Lagerbereichen für Fotomasken oder Halbleiterwafer.
Die Partikelvorfilter von Camfil gewährleisten den geringsten Energieverbrauch in raumlufttechnischen Anlagen bei gleichzeitigem Schutz der HEPA-Filter vor Verstopfung und ohne Freisetzung von Bor. Die HEPA- und ULPA-Filter von Camfil sind so konzipiert, dass sie so wenig organische Verunreinigungen wie möglich freisetzen (geringe Ausgasung), und wurden im Laufe vieler Jahre hinsichtlich der Klebstoffe und chemischen Eigenschaften der Medien weiterentwickelt. Absaugsysteme für das Waferschneiden und Gaswäscher für allgemeine Abgasrückgewinnungssysteme schützen die Umwelt vor Prozessverunreinigungen.
Mikroelektronische Prozesse in Reinräumen oder Mini-Umgebungen erfordern Schutz vor Partikeln und molekularen gasförmigen Schadstoffen. Zu diesen Prozessen gehören Lithographie, Beschichterentwickler, Ätzverfahren, Diffusion, Metallisierung, Dünnschichttechnik, Ionenimplantation, Inspektionswerkzeuge und die Fotomaskenlagerung.
Lüftungsanlagen, die Industrieanlagen mit aufbereiteter Außenluft versorgen, sind sehr wichtige Teile der Anlagensysteme, die einen Raumüberdruck erzeugen und die Abluft ausgleichen. Die Zuluft muss entsprechend gefiltert werden, um Rohrleitungen, Personen, Prozesse und Produkte zu schützen.
Reinraumdecken sind so konzipiert, dass sie einen hohen Schutz vor Molekülen (Gasphase), Nanopartikeln und Partikeln aus Reinraumgeräten, Prozessen und Endprodukten bieten. Je nach Reinraumdesign werden laminare oder turbulente Luftströmungen verwendet.
Schützen Sie Mensch und Umwelt vor gefährlichen oder hoch konzentrierten Partikeln und Molekülen, die bei industriellen Prozessen freigesetzt werden, erfüllen Sie lokale Sicherheitsvorschriften und reduzieren Sie die Betriebskosten Ihrer Abluftfilteranlage.
Umlufteinheiten werden zur Versorgung von Anlagen mit sauberer und temperierter Luft als Ergänzung oder Ersatz für Deckensysteme und Fan Filter Units eingesetzt. Umluft muss gefiltert werden, um Menschen, Prozesse und Produkte zu schützen.
Der Anschaffungspreis von Luftfiltern oder Absauganlagen ist oft nur die Spitze des Eisbergs. Unter der Oberfläche lauern die wahren Kosten für Energie, Wartung und Entsorgung. Um eine langfristig wirtschaftliche Entscheidung zu treffen, empfiehlt sich eine gründliche Analyse der Kosten über die gesamte Lebensdauer.
Saubere Luft in der Lebensmittel- und Getraenkeproduktion Biowissenschaften und Gesundheitseinrichtungen Standards und Normen Nachhaltigkeit im Fokus Produktion und maschinelle Fertigung Elektronik und Optik Gewerbliche und oeffentliche Gebaeude
Ohne HEPA-Filter könnten wir keine Computer, Medikamente und viele andere Produkte herstellen, die aus unserer heutigen Welt nicht mehr wegzudenken sind. Doch wie sind diese Schwebstofffilter eigentlich entstanden und wo werden sie eingesetzt?
Biowissenschaften und GesundheitseinrichtungenTauchen Sie ein in die Welt der modernen Filtrationstechnologien und erfahren Sie, wie unsere hoch entwickelten Aktivkohle- und Molekularfiltrationslösungen Ihre Prozesse optimieren und gleichzeitig höchste Standards in der Kontaminationskontrolle gewährleisten.
Korrosion wird in der Regel erst erkannt, wenn es zu spät ist, was zu vermeidbaren Schäden führt. AirImageCOR Luftqualitätssensor von Camfil misst korrosive Gase in der Luft und zeigt an, wann Luftfilter gewechselt werden müssen, um empfindliche elektronische Geräte zu schützen und Sachwerte zu erhalten.
Die CamCarb XG Aktivkohle-Filterpatrone wurde entwickelt, um die Kosten für Energie und Wartung bei der Bewältigung molekularer Verunreinigungen zu senken
Nicht jeder, der unsere Produkt kauft, ist ein Experte auf dem Gebiet der Luftfiltration, und das muss er/sie auch nicht sein. Der Zweck von Camfil City ist es, jedem die Möglichkeit zu geben, die Grundlagen unserer Lösungen für saubere Luft zu verstehen.
Zu den Auswirkungen der Korrosion gehört eine erhebliche Verschlechterung der natürlichen und historischen Monumente. Luftverschmutzung verursacht Korrosion, und sie wird weltweit immer schlimmer. Erfahren Sie, wie Sie Ihre Ausrüstung schützen können.
Österreich