Schutz von kritischen Komponenten
Bei der Herstellung von Halbleitern können Verunreinigungen zu Defekten, elektrischen Fehlfunktionen oder Totalausfällen führen, was wiederum Qualitätsprobleme und Produktionsausfälle zur Folge hat. Während Verunreinigungen durch Partikel bekannt sind und kontrolliert werden können, sind Materialien und Prozesse in fortschrittlichen Technologien empfindlicher gegenüber luftgetragenen molekularen Verunreinigungen (AMC).
Molekularfilter oder AMC-Filter spielen eine entscheidende Rolle bei der Entfernung von molekularen Verunreinigungen wie Säuren, Basen, Dotierstoffen und flüchtigen organischen Verbindungen (VOCs), um die Herstellung von Mikro- oder Speicherchips zu gewährleisten.
Bei der Auswahl des richtigen Molekularfilters für die Halbleiterfertigung sind die folgenden sechs Punkte zu beachten:
Thi-Quynh
Nguyen Mazo
EMEA Product Manager,
Molecular Filtration
Einer der wichtigsten Faktoren bei der Auswahl eines Molekularfilters ist seine Filtrationseffizienz. AMC-Filter werden in Anlagensystemen und auf Werkzeugen oder in der Umgebung von Werkzeugen installiert. In modernen Fabriken arbeiten Wafer-Prozesse mit AMC-Konzentrationen von wenigen ppb (parts per billion) oder noch weniger, insbesondere in kritischen Bereichen wie der Lithografie. Filter mit hohem Wirkungsgrad sorgen für eine effektive Entfernung von Verunreinigungen und minimieren das Risiko von Verunreinigungen und Defekten in Halbleiterwafern.
Camfil testet die Effizienz seiner Filtermedien und AMC-Filter streng nach ISO 10121 unter praxisnahen Bedingungen.
Bei der Herstellung von Halbleitern wird eine Vielzahl von Prozessgasen und Chemikalien verwendet, die jeweils besondere Herausforderungen an die Filtration stellen. Einige chemische Imprägnierungen in Filtern können mit diesen Substanzen reagieren und schädliche Nebenprodukte erzeugen. Es ist wichtig, Molekularfilter auszuwählen, die mit den in der Produktionsumgebung vorhandenen Substanzen chemisch kompatibel sind. Die Verwendung der richtigen Filtermedien stellt sicher, dass die Adsorptionsrate maximiert und die Kontaminationsrate reduziert wird.
Bei Camfil verwenden wir eine Reihe verschiedener Medien, die auf Ihre molekularen Verunreinigungen abgestimmt sind.
Die Lebensdauer und die Wartungsanforderungen von Molekularfiltern haben einen erheblichen Einfluss auf die Betriebskosten und die Produktionseffizienz. Bei der Auswahl des richtigen Filters sind Leistung und Lebensdauer entscheidend. Stellen Sie sicher, dass Sie eine Lösung wählen, die für Ihre spezifischen Verunreinigungen getestet wurde, und dass die Lebensdauer des Filters auf der Grundlage von Mindestleistungsniveaus optimiert ist.
Die einzigartige MCCLD-Software von Camfil ermöglicht eine genaue Vorhersage der Lebensdauer Ihrer Molekularfiltrationsanlage, während CLEAN AMC das gesamte AMC-Steuerungskonzept und die Betriebskosten optimiert. Mit CLEAN AMC können Sie verschiedene Filterlösungen simulieren, um Informationen über die erreichbaren AMC-Konzentrationen in verschiedenen Teilen eines Reinraumsystems zu sammeln, z. B. über der Decke, unter den FFU-Filtern oder als durchschnittliche Reinraumkonzentration in der Rückluft-AHU. Diese Werkzeuge helfen bei der Anpassung der AMC-Lösungen an die Parameter Ihrer Produktionsanlage, um eine optimale Leistung und Lebensdauer zu gewährleisten.
Reinraumumgebungen in der Halbleiterfertigung unterliegen strengen Hygienestandards, was bedeutet, dass die ausgewählten Filter diese Anforderungen erfüllen oder übertreffen müssen. Vergewissern Sie sich, dass die Molekularfilter den Reinraumklassifizierungen und -vorschriften sowie der ISO 10121 entsprechen, um sicherzustellen, dass sie für die Anwendung geeignet sind. Die Filter sollten so konstruiert sein, dass sie sich nahtlos in den Reinraum oder die kontrollierte Umgebung einfügen, mit Merkmalen wie leckagefreien Dichtungen, minimaler Partikelabgabe, geringer AMC-Ausgasung und Kompatibilität mit Luftstromkontrollsystemen. Die Auswahl von Filtern, die den Reinraumstandards entsprechen, gewährleistet die Aufrechterhaltung der ultrareinen Bedingungen, die für die Halbleiterherstellung unerlässlich sind.
Die Halbleiterfertigung ist eine dynamische Branche, die durch raschen technologischen Fortschritt und sich ändernde Produktionsanforderungen gekennzeichnet ist. Achten Sie bei der Auswahl von Molekularfiltern auf Skalierbarkeit und Ssicherheit. Wählen Sie Molekularfilter und -systeme, die sich problemlos an zukünftige Reinraumanforderungen anpassen lassen.
Bei Camfil stehen Forschung und Entwicklung im Mittelpunkt. In unseren Entwicklungslabors für Molekularfilter arbeiten wir daran, die effizientesten Filter auf den Markt zu bringen (sowohl in Bezug auf die Filtrationsleistung als auch auf die Energiebilanz). Durch die sorgfältige Berücksichtigung dieser Faktoren können Halbleiterhersteller sicherstellen, dass sie die effektivsten AMC-Filtrationslösungen wählen, um kritische Komponenten und Prozesse zu schützen und hohe Produktionsausbeuten zu erzielen.
Die Energiekosten haben einen großen Einfluss auf die Halbleiterherstellung. Die Sicherstellung der richtigen Luftqualität in kontrollierten Umgebungen ist der Schlüssel zur Optimierung des Herstellungsprozesses. AMC-Filter stellen sicher, dass molekulare Verunreinigungen auf energieeffiziente Weise abgeschieden werden, was zu erheblichen Einsparungen führen kann.
Die AMC-Filter von Camfil sind so konzipiert, dass sie den Druckabfall in Ihrem HLK-System reduzieren. Es hat sich gezeigt, dass unser CamCarb XG den Energieverbrauch gegenüber vergleichbaren AMC-Filterlösungen um bis zu 35 % reduziert.
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