La protezione dei componenti sensibili

6 considerazioni per la scelta della corretta filtrazione AMC per la produzione di semiconduttori

Nella produzione di semiconduttori, la contaminazione può portare a difetti, malfunzionamenti elettrici o guasti completi che comportano problemi di qualità e perdita di resa produttiva. La contaminazione da particelle è ben nota e controllata, ma per le tecnologie avanzate, i materiali e i processi sono più sensibili alla contaminazione molecolare aerea (AMC).

I filtri AMC svolgono un ruolo fondamentale nella rimozione di contaminanti molecolari come acidi, basi, droganti e composti organici volatili (COV), salvaguardando la fabbricazione di chip logici o di memoria.

Ecco sei considerazioni essenziali per la selezione del corretto filtro molecolare per la produzione di semiconduttori:

Thi-Quynh
Nguyen Mazo

EMEA Product Manager,
 Filtrazione Molecolare

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6 considerazioni per la scelta del corretto filtro AMC:

Efficienza di filtrazione

Uno dei fattori principali da considerare quando si sceglie un filtro molecolare è la sua efficienza di filtrazione. I filtri AMC sono installati nei sistemi di trattamento aria degli stabilimenti, sulle macchine utensili o nell'ambiente delle macchine utensili. Nelle fabbriche avanzate, i processi di produzione dei wafer operano a concentrazioni di contaminanti molecolari aerotrasportati di pochi ppm (parti per miliardo) o a livelli inferiori ai ppm, specialmente in aree critiche come la litografia. I filtri ad alta efficienza assicurano un'efficace rimozione dei contaminanti riducendo al minimo il rischio di contaminazione e difetti nei wafer semiconduttori.

In Camfil, l'efficienza del nostro media molecolare e dei filtri AMC è rigorosamente testata secondo gli standard ISO 10121 standard in applicazioni prossime a quelle della vita reale.

Compatibilità chimica e rimozione dei contaminanti

La produzione di semiconduttori coinvolge una varietà di gas e sostanze chimiche di processo, ognuno dei quali presenta sfide di filtrazione uniche. Alcune impregnazioni chimiche nei filtri possono reagire con queste sostanze, creando sottoprodotti nocivi. È fondamentale selezionare filtri molecolari che siano chimicamente compatibili con le sostanze presenti nell'ambiente di produzione. L'utilizzo del corretto media molecolare garantirà che il tasso di adsorbimento sia massimizzato e i tassi di contaminazione siano ridotti.

In Camfil utilizziamo una gamma completa di differenti media concepiti per trattare i tuoi specifici contaminanti molecolari.

Esigenze di longevità e manutenzione

La longevità e i requisiti di manutenzione dei filtri molecolari hanno un impatto significativo sui costi operativi e sull'efficienza produttiva. Le prestazioni e la durata di un filtro sono fondamentali. Assicurati di scegliere una soluzione testata contro i tuoi contaminanti specifici e di ottimizzare la durata del filtro in base ai livelli minimi di prestazione.

L'esclusivo software MCCLD di Camfil prevede con precisione la durata del tuo impianto di filtrazione molecolare, mentre CLEAN AMC ottimizza il concetto di controllo totale della contaminazione molecolare aerodispersa e dei costi operativi. CLEAN AMC ti consente di simulare diverse soluzioni di filtrazione per raccogliere informazioni sulle concentrazioni di contaminanti molecolari presenti nell'aria. Queste soluzioni sono realizzabili in diverse parti di cleanroom, ad esempio sopra il soffitto, sotto i filtri FFU o nell'unità di trattamento aria di ritorno. Questi strumenti ti consentono di adattare le soluzioni AMC in base ai parametri del tuo impianto di produzione, ottimizzando prestazioni e durata.

Adattabilità agli standard di cleanroom

Gli ambienti delle camere bianche nella produzione di semiconduttori aderiscono a rigorosi standard di pulizia, il che significa che i filtri scelti devono supportare il rispetto o il superamento di questi requisiti. Assicurati che i filtri molecolari siano conformi alle classificazioni e alle normative delle camere bianche, nonché alla norma ISO10121, per garantire che siano adatti allo scopo. I filtri devono essere progettati per integrarsi perfettamente nella camera bianca o nell'ambiente a contaminazione controllata, con caratteristiche quali guarnizioni leak-free, rilascio minimo di particelle, basso degassamento AMC e compatibilità con i sistemi di controllo del flusso d'aria. La scelta di filtri in linea con gli standard di cleanroom garantisce il mantenimento di condizioni ultra-pulite, essenziali per la fabbricazione di semiconduttori.

Adattabilità all'evoluzione futura

La fabbricazione di semiconduttori è un'industria dinamica caratterizzata da tecnologie avanzate e rapide e da esigenze di produzione in costante evoluzione. Durante la selezione dei filtri molecolari, è necessario tenere conto della loro evoluzione e del loro potenziale di adattamento al futuro. Scegliete filtri molecolari e sistemi che possono essere facilmente adattati all'evoluzione futura della vostra camera bianca.

In Camfil, la ricerca e sviluppo è nel cuore della nostra azienda. Con i laboratori per lo sviluppo della filtrazione molecolare, puntiamo a portare sul mercato i filtri più efficaci (sia in termini di prestazioni di filtrazione che in termini energetici). Considerando attentamente questi fattori, i produttori di semiconduttori possono garantire che le soluzioni di filtrazione AMC scelte siano più efficaci, proteggendo i componenti e i processi sensibili e mantenendo elevata la resa produttiva.

Efficienza energetica

I costi energetici hanno un impatto enorme sulla produzione di semiconduttori. Garantire che la giusta qualità dell'aria venga fornita negli ambienti a contaminazione controllata è fondamentale per ottimizzare il processo di produzione. Una filtrazione AMC che garantisce che i contaminanti molecolari vengano catturati in modo efficiente dal punto di vista energetico può portare a grandi risparmi

In Camfil i nostri filtri AMC sono progettati per ridurre la perdita di carico nel tuo sistema HVAC. Il nostro CamCarb XG ha dimostrato di ridurre il consumo di energia fino al 35% rispetto ad altre soluzioni di filtrazione AMC comparabili.

Autrice: Thi Quynh Nguyen Mazo, EMEA Product Manager Molecular Filtration