Migliora la resa dei tuoi processi con le soluzioni complete per la produzione avanzata di semiconduttori.
Nelle fabbriche di semiconduttori la microcontaminazione può generare problematiche molto importanti. Camfil offre un’estesa gamma di soluzioni – pre-filtri particellari, filtra Hepa, filtra ULPA, e soluzioni per il controllo della Airborne Molecular Contamination (AMC) – per ridurre ogni concentrazione sia particellare che molecolare fino alla Classe di pulizia ISO 1 ed a livelli sub-ppb per quanto concerne la AMC.
La contaminazione molecolare aerotrasportata, e spesso “aerogenerata “ (AMC) rappresenta una sfida specifica per la produzione di semiconduttori di piccolo dimensioni . Le reazioni chimiche indesiderate di composti acidi, basi, composti organici, “refractories (ad esempio organifosfati)” e dopanti (ad esempio il Boro) possono impattare direttamente sulla superficie dei wafer di Silicio e sulle ottiche delle attrezzature di processo generando difetti durante I vari step di produzione dei chip e riducendo l’efficienza delle attrezzature e nel peggiore dei casi l’intera resa di processo .
La AMC è ormai diventato uno degli aspetti più critici dei processi più avanzati di semiconduttori. Quando le specifiche di processo diventano più critiche e le dimensioni dei chip si riducono, il controllo di processo si trova a fronteggiare sfide sempre più difficili. Un wafer per la produzione di semiconduttori può rimanere in reparto anche per più di un mese, passando attraverso centinaia di step di processo prima di essere integrato in un prodotto finale. La più piccolo contaminazione che impatta in questa lunga catena di produzione può quindi generare serie conseguenze per la resa globale della fabbrica.
Un’altra sfida è la tendenza ad aumentare le dimensioni dei wafer contestualmente alla riduzione dei device prodotti in linea, questo comporta l’aumento dei costi dei wafer e di conseguenza la maggior attenzione verso la filtrazione di nanoparticelle e la protezione delle attrezzature di processo dalla contaminazione molecolare. In aggiunta , il crescente costo per le maschere utilizzate nei processi di litografia stanno alzando l’attenzione verso sistemi di controllo della contaminazione non solo per gli impianti di trattamento aria convenzionali ma anche su sistemi di mini-environment, attrezzature di ispezione, testing e di stoccaggio delle maschere litografiche (Mask-Stocker).
Le soluzioni Camfil forniscono una comprovata efficacia per la produzione dei semiconduttori. migliorando la qualità dell’aria in litografia, area attacchi, diffusione, metallizzazione, deposizione, impiantazione, metrologia e, non meno importante le zone di stoccaggio dei wafers e delle maschere litografiche.
Il range Camfil di pre-filtri particellari garantisce il minimo consumo energetico nelle Unità di Trattamento Aria e nel contempo proteggono I filtri HEPA da eventuale intasamento e da outgassing indesiderato di Boro. I filtra HEPA e ULPA di Camfil sono studiati e progettati per garantire il minor rilascio possible di composti contaminanti organici (Filtri LOW Outgassing) grazie ad anni di studio e sviluppo di adesivi e media filtrante aventi le opportune caratteristiche chimiche desiderate. I sistemi di abbattimento polveri dei processi di taglio del wafer di Silicio così come I sistemi di scrubber molecolare per il back up dell’impianto di espulsione generale, proteggono invece l’ambiente dai contaminanti generate dal processo di produzione
Proteggi l'ambiente e le persone da particelle e molecole pericolose o in alte concentrazioni rilasciate dai processi industriali, rispetta le normative locali di sicurezza e riduci i costi operativi del tuo sistema di filtrazione aria in espulsione.
Le unità di ricircolo aria sono utilizzate per fornire aria pulita e a temperatura agli impianti, a complemento o al posto dei sistemi a soffitto e delle unità motoventilanti. L'aria di ricircolo deve essere filtrata per proteggere le persone, i processi e i prodotti.
I processi microelettronici in camere bianche o mini-environment richiedono protezione da particelle e contaminanti gassosi molecolari. I processi includono litografia, sviluppatori di vernici, incisione, diffusione, metallizzazione, film sottili, impianto di ioni, strumenti di ispezione e reticle stockers.
I soffitti filtranti per clean room sono progettati per garantire elevata efficienza di filtrazione e protezione delle attrezzature di reparto, dei processi e dei relativi prodotti verso contaminanti molecolari (fase gassosa), particellari fino alle nanoparticelle. A seconda del design della clean room i soffitti filtranti possono essere a flusso laminare o turbolento.
Le unità di trattamento che forniscono aria primaria alle industrie sono parti critiche degli impianti, utilizzate per mettere in sovrappressione gli ambienti e compensarne il ricircolo. L'aria primaria deve essere filtrata adeguatamente per proteggere le batterie e i canali, le persone, i processi e i prodotti.
CamCarb XG Progettato per risparmiare sui costi energetici e di manutenzione nelle applicazioni di controllo della contaminazione molecolare.
Edifici pubblici commerciali Elettronica e ottica Food and beverageSpesso il prezzo di acquisto iniziale dei filtri per l’aria o dei depolveratori è solo la punta dell'iceberg. I veri costi per l’energia, la manutenzione e lo smaltimento sono in agguato sotto la superficie. Per prendere la decisione più economica a lungo termine, un calcolo dettagliato che consideri tutti i fattori aiuterà a ridurre la spesa complessiva.
Standard e normative Manufacturing and machinery Sostenibilità Edifici pubblici commerciali Elettronica e ottica Food and beverage Life science and healthcare
Without HEPA filters, we would not be able to manufacture computers, medicine and many other products that are essential in today’s world. But what is the history of these High Efficiency Particulate Air filters and how and where are they used?
La corrosione in genere non viene riconosciuta fino a quando non è troppo tardi, con conseguenti danni che avrebbero potuto essere prevenuti. Il monitor di controllo della corrosione AirImage-COR di Camfil misura istantaneamente i gas corrosivi nell'aria per indicare quando i filtri per l'aria devono essere sostituiti per proteggere le apparecchiature elettroniche sensibili e preservare i beni preziosi.
Non tutte le persone che acquistano i nostri prodotti sono esperte in filtrazione dell’aria, e nemmeno è necessario che lo siano. Lo scopo di Camfil City è di offrire a tutti la possibilità di apprendere le basi di ciò che le nostre soluzioni per l’aria pulita possono fare per loro.
La filtrazione HEPA è richiesta all’interno di svariati settori, da quello farmaceutico, ospedaliero, microelettronico e perfino Food and Beverage. Scopri cosa sta cambiando nei requisiti di filtrazione HEPA, come la filtrazione HEPA si sia evoluta negli ultimi anni e come identificare e ridurre i relativi costi dei tuoi requisiti di aria pulita.
Some of the effects of corrosion include a significant deterioration of natural and historic monuments. Air pollution causes corrosion, and it’s becoming worse worldwide. Learn how to protect your equipment.
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