prosessien kriittisten osien suojaaminen
Puolijohdeteollisuudessa kontaminaatio voi johtaa virheisiin, toimintahäiriöihin tai epäonnistumisiin, mikä aiheuttaa lopputuotteen laatuongelmia ja hävikkiä. Edistyneissä teknologioissa materiaalit ja prosessit ovat herkempiä ilmassa oleville molekyylikontaminanteille.
Molekyylisuodatuksella poistetaan ilmassa leviäviä kontaminaatiota aiheuttavia molekyylejä, kuten happoja, emäksiä, dopantteja ja haihtuvia orgaanisia yhdisteitä (VOC).
Tässä on kuusi olennaista tekijää oikean molekyylisuodattimen valitsemiseksi puolijohdevalmistukseen:
Yksi tärkeimmistä tekijöistä molekyylisuodattimen valinnassa on sen suodatuskyky. Molekyylisuodattimet asennetaan rakennuksen järjestemiin sekä työskentelypisteiden päälle tai läheisyyteen. Edistyneissä tuotantolaitoksissa kiekkoprosessit toimivat muutaman ppb:n (miljardisosan) tai alle ppb:n molekyylikontaminanttien pitoisuuksilla, erityisesti kriittisillä alueilla kuten litografiassa. Korkean suodatusluokan suodattimet varmistavat tehokkaan kontaminanttien poiston, mikä minimoi kontaminaation ja virheiden riskin puolijohdekiekoissa.
Camfililla molekyylisuodatusmassat ja -suodattimet testataan ISO 10121 -standardin mukaisesti todellisia olosuhteita vastaavissa testeissä.
Puolijohdevalmistus sisältää monenlaisia prosessikaasuja ja kemikaaleja, joista jokainen aiheuttaa omat suodatushaasteensa. Jotkut suodattimien kyllästeet voivat reagoida näiden aineiden kanssa, muodostaen haitallisia sivutuotteita. On tärkeää valita molekyylisuodattimet, jotka ovat yhteensopivia tuotantoympäristössä olevien aineiden kanssa. Oikean suodatusmateriaalin käyttö varmistaa, että adsorptiokyky on optimaalinen ja kontaminaatiotasot laskevat.
Camfililla on laaja valikoima erilaisia suodatusmateriaaleja ja -massoja, eri molekyylien suodatukseen.
Molekyylisuodattimien käyttöikä ja huoltovaatimukset vaikuttavat merkittävästi käyttökustannuksiin ja tuotannon tehokkuuteen. Sopivaa suodatinta valitessa suorituskyky ja käyttöikä ovat avainasemassa. Varmista, että valitset ratkaisun, joka on testattu tuotannossasi esiintyville epäpuhtauksille ja jonka vaihtoaika on optimoitu vähimmäissuorituskyvyn perusteella.
Camfilin MCCLD-ohjelmisto ennustaa tarkasti molekyylisuodatuksesi käyttöiän, kun taas CLEAN AMC optimoi koko molekyylikontaminaation hallintakonseptin ja kokonaiskustannukset. CLEAN AMC mahdollistaa erilaisten suodatinratkaisujen simuloinnin, jotta saadaan tietoa ilman molekyylien pitoisuuksista puhdastilajärjestelmän eri osissa. Nämä työkalut auttavat räätälöimään sopivan molekyylisuodatusratkaisun tuotantolaitoksesi datan perusteella.
Puolijohdevalmistuksen puhdastilojen puhtaustasoja sääntelee standardit. Tämä tarkoittaa sitä, että tilaan asennettavien suodattimien tulee täyttää tai ylittää standardien vaatimukset. Varmista, että molekyylisuodattimet ovat puhdastilaluokitusten ja -säädösten mukaisia, sekä ISO 10121 mukaisia, jotta ne soveltuvat tarkoitukseensa. Suodattimien tulee sopia saumattomasti puhdastilaan tai valvottuun ympäristöön, ominaisuuksilla kuten vuotamattomilla tiivisteillä, minimaalisella hiukkasten vapauttamisella, vähäisillä ohivuodoilla ja yhteensopivuudella ilmavirran säätöjärjestelmien kanssa. Valitsemalla suodattimet, jotka vastaavat puhdastilastandardeja, varmistetaan ultrapuhtaiden olosuhteiden ylläpitäminen, mikä on välttämätöntä puolijohteiden valmistuksessa.
Puolijohdeteollisuus on dynaaminen ala, jolle on ominaista nopeat teknologiset edistysaskeleet ja kehittyvät tuotantovaatimukset. Tuotantotilojen suodatusta suunnitellessa suodattimien skaalautuvuus ja mukautuminen on olennaista. Valitse molekyylisuodattimet ja -järjestelmät, joita voidaan helposti laajentaa vastaamaan tulevaisuuden puhdastilavaatimuksia.
Camfil panostaa tutkimus- ja kehitystoimintaan ja yrityksellämme on omia molekyylisuodatuksen kehittämiseen keskittyviä laboratorioita. Tavoitteemme on tuoda markkinoille tehokkaimmat (sekä suodatuksen että energiatehokkuuden osalta) suodattimet.
Energiakustannuksilla on suuri vaikutus puolijohdevalmistukseen. Oikean ilmanlaadun varmistaminen valvotuissa ympäristöissä on avainasemassa tuotantoprosessin optimoinnissa. Ilmassa olevia molekyylikontaminantteja poistavan suodatuksen avulla varmistetaan, että molekyylikontaminantit saadaan talteen energiatehokkaasti, mikä voi johtaa valtaviin säästöihin.
Camfilin molekyylisuodattimet on suunniteltu pienentämään painehäviötä ilmanvaihtojärjestelmässäsi. Esimerkiksi CamCarb XG:n on osoitettu vähentävän energiankulutusta jopa 35 % markkinoiden vastaaviin suodattimiin verrattuna.
Suomi