Paranna prosessien tuottoa edistyneeseen puolijohdevalmistukseen suunnitelluilla puhdasilmaratkaisuilla.
Mikrokontaminaatio voi aiheuttaa puolijohdetehtaissa massiivisia ongelmia. Camfil tarjoaa laajan valikoiman ratkaisuja – esisuodattimia, HEPA- ja ULPA-suodattimia sekä molekyylisuodatinratkaisuja – joiden avulla voit laskea puhdastilan hiukkaspitoisuuden ISO-luokan 1 tasolle ja molekyylipitoisuuden alle ppb-kynnysarvon.
Ilmassa leviävä molekyylikontaminaatio (AMC) on merkittävä haaste pienimuotoisessa puolijohdevalmistuksessa. Happojen, emästen, orgaanisten aineiden, palonkestoaineiden ja seostusaineiden aiheuttamat ei-toivotut kemialliset reaktiot voivat vaikuttaa puolijohdelevyjen pintaan ja prosessilaitteiden optiikkaan, aiheuttaa vikoja sirujen tuotannossa ja haitata laitteiden sekä työkalujen käyttöä.
Molekyylisuodatuksen merkitys kriittisissä puhdastilaprosesseissa kasvaa koko ajan. Teknisten ominaisuuksien kehittyessä ja laitteiden koon pienentyessä prosessien hallintaan kohdistuu kovia paineita. Puolijohdelevyt saattavat olla tehtaalla jopa kuukauden ja käydä läpi satoja prosesseja, ennen kuin ne lähtevät ulkomaailmaan valmiissa tuotteissa. Pienikin kontaminaatiovaikutus prosessiketjussa voi aiheuttaa vakavat seuraukset tehtaan tuotolle.
Toinen haaste liittyy suurten puolijohdelevyjen yleistymiseen. Tämä nostaa yksittäisten puolijohdelevyjen kustannuksia ja lisää nanohiukkasten sekä ilmassa leviävien molekyylien suodatustarvetta työkalujen tasolla. Lisäksi EUV- ja DUV-litografiassa käytettäviin maskeihin liittyvien kustannusten kasvu lisää kontaminaation hallintajärjestelmiin sekä miniympäristöihin, kuten tarkastuslaitteisiin ja maskien valmistukseen, kohdistuvia paineita.
Camfilin ratkaisut tarjoavat kentällä ja laboratorioissa testattua suojaa puolijohteiden valmistusympäristöön ja prosesseihin, kuten litografiaan, etsaukseen, diffuusioon, metallipinnoitukseen, ohutkalvoihin, ioni-istutuksiin, tarkistustyökaluihin ja resistien tai levyjen varastointialueille.
Camfilin hiukkasesisuodattimet varmistavat vähäisen energiankulutuksen tuloilmakoneissa ja suojaavat HEPA-suodattimia tukkeutumiselta ilman booripäästöjä. Camfilin HEPA- ja ULPA-suodattimet on suunniteltu siten, että niistä vapautuu mahdollisimman vähän orgaanisia epäpuhtauksia. Ratkaisujen taustalla on vuosien kehitystyö liimojen ja suodatinmateriaalien kemiallisten ominaisuuksien alalla. Levyjen leikkuun poistoilmajärjestelmät sekä yleisten poistoilman varajärjestelmien savukaasupesurit suojaavat ympäristöä prosessissa vapautuvilta epäpuhtauksilta.
Suojele ympäristöä ja ihmisiä teollisissa prosesseissa syntyviltä vaarallisilta hiukkasilta ja molekyyleiltä tai niiden vaarallisilta pitoisuuksilta, noudata paikallisia turvallisuusmääräyksiä ja pienennä poistoilman suodatuksen käyttökustannuksia.
Kiertoilmakoneet toimittavat puhdasta ja oikean lämpöistä ilmaa laitoksiin kattojärjestelmien ja puhallinsuodattimien lisäksi tai niiden sijasta. Kiertoilma on suodatettava ihmisten, prosessien ja tuotteiden suojaamiseksi.
Puhdastilojen sisäkatot on tarkoitettu suojaamaan puhdastilojen laitteita, prosesseja ja niissä valmistettuja tuotteita molekyyleiltä (kaasupartikkeleilta), nanohiukkasilta ja hiukkasilta. Sisäkatoissa käytetään puhdastilan rakenteen mukaan laminaarisia tai pyörteisiä ilmavirtauksia.
Mikroelektroniset prosessit puhdastiloissa tai miniympäristöissä vaativat suojausta hiukkasilta ja kaasumaisilta molekyylitason epäpuhtauksilta. Tällaisia prosesseja ovat litografia, pinnoitteiden valmistus, etsaus, diffuusio, metallipinnoitus, ohutkalvot, ioni-istutus sekä tarkistustyökalut ja resistien valmistus.
Ilmastoitua ulkoilmaa teollisuudelle tuottavat ilmanvaihtokoneet ovat laitosten järjestelmien välttämätön osa, sillä ne tuottavat tilaan ylipaineen ja korvaavat poistetun ilman. Korvausilma on suodatettava asianmukaisesti kierukoiden ja kanavien, ihmisten, prosessien ja tuotteiden suojaamiseksi.
Usein ilmansuodattimien tai pölynkerääjien alkuperäinen hankintahinta on vain jäävuoren huippu. Todelliset energia-, huolto- ja hävittämiskustannukset piilevät pinnan alla. Jotta päätös olisi pitkällä aikavälillä taloudellisin, kaikki tekijät huomioon ottava yksityiskohtainen laskelma auttaa vähentämään kokonaiskustannuksia.
Standardeja ja asetuksia Tuotanto ja logistiikka Kestävä Kehitys Julkiset kiinteistöt Elektroniikka ja optiikka Ruoka ja juoma Biotieteet ja terveydenhuolto
Kaikki tuotteitamme ostavat ihmiset eivät ole ilmansuodatuksen asiantuntijoita, eikä heidän myöskään tarvitse olla. Camfil Cityn tarkoituksena on antaa kaikille mahdollisuus oppia perusteet siitä, mitä puhtaan ilman ratkaisumme voivat tehdä heidän hyväkseen.
Standardeja ja asetuksia Virusten leviämisen hallinta Take a Breath Tuotanto ja logistiikka Asiakastarinat Kestävä Kehitys Ilmanpuhdistimet Julkiset kiinteistöt Opi ja koe Elektroniikka ja optiikka Ilmanlaatu Ruoka ja juoma Energiantuotto & Kaasuturbiinit Innovaatiot teknologia ja tutkimus Biotieteet ja terveydenhuolto
Korroosio voi vaikuttaa merkittävästi historiallisten muistomerkkien ja -esineiden kuntoon. Epäpuhdas ilma aiheuttaa korroosiota, ja ilmanlaatu huononeen maailmassa kaiken aikaa. Opi suojautumaan ilmansaasteita ja korroosiota vastaan.
Suomi