prosessien kriittisten osien suojaaminen
Puolijohdevalmistuksessa kontaminaatio voi johtaa virheisiin, sähköisiin toimintahäiriöihin tai täydellisiin epäonnistumisiin, mikä aiheuttaa laatuongelmia ja tuotannon saantihäviöitä. Hiukkaskontaminaatio on ollut hyvin tunnettu ja hallinnassa, mutta edistyneissä teknologioissa materiaalit ja prosessit ovat herkempiä ilmassa oleville molekyylikontaminanteille.
Ilmassa olevaa molekyylikontaminaatiota poistavat suodattimet ovat keskeisessä roolissa poistamassa molekyylikontaminantteja, kuten happoja, emäksiä, dopantteja ja haihtuvia orgaanisia yhdisteitä (VOC), mikä turvaa logiikka- tai muistisirujen valmistuksen.
Tässä on kuusi olennaista tekijää oikean molekyylisuodattimen valitsemiseksi puolijohdevalmistukseen:
Yksi tärkeimmistä tekijöistä molekyylisuodattimen valinnassa on sen suodatusteho. Ilmassa olevaa molekyylikontaminaatiota poistavat suodattimet asennetaan laitosjärjestelmiin ja työkalujen päälle tai työkalujen ympäristöön. Edistyneissä tuotantolaitoksissa kiekkojen prosessit toimivat ilmassa olevien molekyylikontaminanttien pitoisuudella, joka on muutamia ppb (miljardisosia) tai alle ppb-tasolla, erityisesti kriittisillä alueilla kuten litografiassa. Suodattimet, joilla on korkeat tehoarvot, varmistavat tehokkaan kontaminanttien poiston, mikä minimoi kontaminaation ja virheiden riskin puolijohdekiekoissa.
Camfililla molekyylimediamme ja ilmassa olevaa molekyylikontaminaatiota poistavien suodattimien teho testataan tiukasti ISO 10121 -standardien mukaisesti olosuhteissa, jotka vastaavat todellisia sovelluksia.
Puolijohdevalmistus sisältää monenlaisia prosessikaasuja ja kemikaaleja, joista jokainen aiheuttaa omat suodatushaasteensa. Jotkut suodattimien kemialliset impregnaatiot voivat reagoida näiden aineiden kanssa, muodostaen haitallisia sivutuotteita. On tärkeää valita molekyylisuodattimet, jotka ovat kemiallisesti yhteensopivia tuotantoympäristössä olevien aineiden kanssa. Oikean molekyylimateriaalin käyttö varmistaa, että adsorptiokyky on maksimoitu ja kontaminaatiotasot vähenevät.
Camfililla käytämme laajaa valikoimaa erilaisia medioita, jotka on suunniteltu kohdistumaan erityisiin molekyylikontaminantteihin.
Molekyylisuodattimien pitkäikäisyys ja huoltovaatimukset vaikuttavat merkittävästi käyttökustannuksiin ja tuotannon tehokkuuteen. Oikea suodattimen suorituskyky ja elinikä ovat avaintekijöitä. Varmista, että valitset ratkaisun, joka on testattu erityisiä kontaminanttejasi vastaan ja vaihtoväli on optimoitu perustuen vähimmäissuorituskykytasoihin.
Camfilin ainutlaatuinen MCCLD-ohjelmisto ennustaa tarkasti molekyylisuodatusasennuksesi eliniän, kun taas CLEAN AMC optimoi koko ilmassa olevaa molekyylikontaminaatiota hallintakonseptin ja omistamisen kustannukset. CLEAN AMC mahdollistaa erilaisten suodatinratkaisujen simuloinnin, jotta saadaan tietoa saavutettavista ilmassa olevien molekyylikontaminanttien pitoisuuksista eri puhdastilajärjestelmän osissa, esimerkiksi kattojen yläpuolella, FFU-suodattimien alapuolella tai keskimääräisenä puhdastilapitoisuutena paluu-ilmankäsittelyyksikössä (AHU). Nämä työkalut auttavat räätälöimään ilmassa olevia molekyylikontaminantteja poistavat ratkaisut tuotantolaitoksesi parametrien perusteella, tarjoten optimoitua suorituskykyä ja pitkäikäisyyttä.
Puolijohdevalmistuksen puhdastilaympäristöt noudattavat tiukkoja puhtausstandardeja, mikä tarkoittaa, että valittujen suodattimien tulee tukea näiden vaatimusten täyttämistä tai ylittämistä. Varmista, että molekyylisuodattimet ovat puhdastilaluokitusten ja -säädösten mukaisia, sekä ISO 10121
mukaisia, jotta ne soveltuvat tarkoitukseensa. Suodattimien tulee olla suunniteltu integroitumaan saumattomasti puhdastilaan tai valvottuun ympäristöön, ominaisuuksilla kuten vuotamattomat tiivisteet, minimaalinen hiukkasten irtoaminen, alhainen ilmassa olevien molekyylikontaminanttien päästö ja yhteensopivuus ilmavirran säätöjärjestelmien kanssa. Valitsemalla suodattimet, jotka vastaavat puhdastilastandardeja, varmistetaan ultra-puhdasten olosuhteiden ylläpitäminen, mikä on välttämätöntä puolijohteiden valmistuksessa.
Puolijohdevalmistus on dynaaminen ala, jolle on ominaista nopeat teknologiset edistysaskeleet ja kehittyvät tuotantovaatimukset. Kun valitaan molekyylisuodattimia, harkitse niiden skaalautuvuutta ja tulevaisuuden varmistamista. Valitse molekyylisuodattimet ja -järjestelmät, joita voidaan helposti laajentaa vastaamaan tulevaisuuden puhdastilavaatimuksia.
Camfililla tutkimus ja kehitys ovat yrityksemme ytimessä. Molekyylisuodatuksen kehityslaboratorioiden avulla pyrimme tuomaan markkinoille tehokkaimmat (sekä suodatuksen että energiatehokkuuden osalta) suodattimet. Harkitsemalla huolellisesti näitä tekijöitä, puolijohdevalmistajat voivat varmistaa, että he valitsevat tehokkaimmat ilmassa olevaa molekyylikontaminaatiota poistavat suodatusratkaisut, suojaten kriittisiä komponentteja ja prosesseja sekä ylläpitäen korkeita tuotantosaantoja.
Energian kustannuksilla on suuri vaikutus puolijohdevalmistukseen. Oikean ilmanlaadun varmistaminen valvotuissa ympäristöissä on avainasemassa tuotantoprosessin optimoinnissa. Ilmassa olevia molekyylikontaminantteja poistavan suodatuksen avulla varmistetaan, että molekyylikontaminantit saadaan talteen energiatehokkaasti, mikä voi johtaa suuriin säästöihin.
Camfilin ilmassa olevia molekyylikontaminantteja poistavat suodattimet on suunniteltu vähentämään painehäviötä HVAC-järjestelmässäsi. CamCarb XG on osoittautunut vähentävän energiankulutusta jopa 35 % verrattuna muihin vastaaviin ilmassa
Finland