Verbessern Sie Ihre Prozesserträge mit kompletten Lösungen für eine fortschrittliche Halbleiterherstellung.
In der Halbleiterherstellung können Mikroverunreinigungen massive Probleme verursachen. Camfil bietet eine umfangreiche Lösungspalette, wie Partikel-Vorfilter, HEPA und ULPA Filter sowie AMC Kontrolllösungen, um jegliche Konzentrationen an Partikeln und molekularen Verunreinigungen in Reinräumen auf ISO Klasse 1 für Partikel und sub-ppb für per Luft übertragene Molekularverunreinigungen zu senken.
Per Luft übertragene Molekularverunreinigungen stellen die Halbleiterherstellung in kleinen Dimensionen vor eine besondere Herausforderung. Die unerwünschten chemischen Reaktionen von Säuren, Basen, organischen Stoffen, Feuerfestmaterialien und Dotierstoffen können Wasseroberflächen und die Optik von Prozessausrüstung beeinflussen, wodurch während der Chipherstellung Defekte auftreten und die Ausrüstungs- und Werkzeugeffizienz gesenkt werden können.
Die Problematik der per Luft übertragenen Molekularverunreinigungen wird in Reinraum-Herstellungsprozessen immer wichtiger. Mit immer anspruchsvolleren Spezifikationen und geringeren Gerätegrößen sieht sich die Prozesskontrolle einem enormen Druck ausgesetzt. Halbleiterscheiben können sich einen ganzen Monat in einer Fabrik befinden und durchlaufen unzählige Prozesse, bevor sie in einem Endprodukt verarbeitet werden. Eine kleine Verunreinigung in diesem Prozess kann sich erheblich auf die Gesamterträge der Fabrik auswirken.
Eine andere Herausforderung ist die Vereinheitlichung von größeren Halbleiterscheibendimensionen, die die Kosten individueller Halbleiterscheiben in die Höhe treibt und den Bedarf an Nanopartikeln und für einen Schutz vor per Luft übertragenen Molekularverunreinigungen auf Werkzeugebene steigen lässt. Zusätzlich wirken sich die steigenden Kosten für defektfreie Masken in der EUV und Multi-Pattern-DUV Lithographie auf die Kontrollsysteme für Verunreinigungen für Einrichtungen sowie auf Miniumgebungen wie Prüfausrüstungen und Maskenanlagen aus.
Die Lösungen von Camfil bieten einen im Feldeinsatz und im Labor bewährten Schutz in Umgebungen der Halbleiterherstellung, einschließlich Lithographie, Ätzen, Diffusion, Metallisierung, Dünnschichten, Ionenimplantation, Prüfwerkzeugen und Lagerbereichen von Fotomasken oder Halbleiterscheiben.
Die Partikel-Vorfilterreihe von Camfil gewährleistet den geringsten Energieverbrauch bei der Einrichtung von Lüftungsanlagen bei gleichzeitigem Schutz der HEPA Filter vor Verstopfung und ohne Freisetzung von Bor. Die HEPA und ULPA Filter von Camfil wurden dazu entwickelt, so wenig organische Verunreinigungen freizusetzen wie möglich (die so genannte geringe Ausgasung), und durchliefen eine jahrelange Entwicklung der Klebmittel und chemischen Eigenschaften der Medien. Abgassysteme für den Zuschnitt der Halbleiterscheiben sowie die Gaswäscher für allgemeine Abgas-Backup-Systeme schützen die Umgebung vor Prozessverunreinigungen.
Reinraumdecken sind so konzipiert, dass sie einen hohen Schutz vor Molekülen (Gasphase), Nanopartikeln und Partikeln aus Reinraumgeräten, Prozessen und Endprodukten bieten. Je nach Reinraumdesign werden laminare oder turbulente Luftströmungen verwendet.
Mikroelektronische Prozesse in Reinräumen oder Mini-Umgebungen erfordern Schutz vor Partikeln und molekularen gasförmigen Schadstoffen. Zu diesen Prozessen gehören Lithographie, Beschichterentwickler, Ätzverfahren, Diffusion, Metallisierung, Dünnschichttechnik, Ionenimplantation, Inspektionswerkzeuge und die Fotomaskenlagerung.
Schützen Sie Mensch und Umwelt vor gefährlichen oder hoch konzentrierten Partikeln und Molekülen, die bei industriellen Prozessen freigesetzt werden, erfüllen Sie lokale Sicherheitsvorschriften und reduzieren Sie die Betriebskosten Ihrer Abluftfilteranlage.
Umlufteinheiten werden zur Versorgung von Anlagen mit sauberer und temperierter Luft als Ergänzung oder Ersatz für Deckensysteme und Fan Filter Units eingesetzt. Umluft muss gefiltert werden, um Menschen, Prozesse und Produkte zu schützen.
Lüftungsanlagen, die Industrieanlagen mit aufbereiteter Außenluft versorgen, sind sehr wichtige Teile der Anlagensysteme, die einen Raumüberdruck erzeugen und die Abluft ausgleichen. Die Zuluft muss entsprechend gefiltert werden, um Rohrleitungen, Personen, Prozesse und Produkte zu schützen.
Oft ist der Anschaffungspreis für Luftfilter oder Absauganlagen nur die Spitze des Eisbergs. Die wahren Kosten für Energie, Wartung und Entsorgung lauern unter der Oberfläche. Um eine auf lange Sicht wirtschaftliche Entscheidung zu treffen, empfiehlt sich eine gründliche Analyse der Kosten über die gesamte Lebenszeit.
Lebensmittel und Getraenke Industrielle Absaugung Life Science und Gesundheitswesen Standards und Bestimmungen Nachhaltigkeit Produktion und maschinelle Bearbeitung Gewerbliche und oeffentliche Gebaeude Elektronik und Optik
Die neue CamCarb XG Aktivkohle-Filterpatrone wurde entwickelt, um Energie- und Wartungskosten bei der Beseitigung molekularer Verunreinigungen zu reduzieren. Das patentierte konische Design sorgt für eine hohe Abscheideleistung bei geringem Druckverlust. Mit unserem Energiesparrechner ermitteln Sie Ihr persönliches Einsparpotenzial.
Lebensmittel und Getraenke Gewerbliche und oeffentliche Gebaeude Elektronik und Optik
Ohne HEPA-Filter wären wir nicht in der Lage, Computer, Medikamente und viele andere Produkte herzustellen, die aus der heutigen Welt nicht mehr wegzudenken sind. Doch wie sind diese Schwebstofffilter eigentlich entstanden, und wo werden sie eingesetzt?
Nicht jeder, der unsere Produkt kauft, ist ein Experte auf dem Gebiet der Luftfiltration, und das muss er auch nicht sein. Der Zweck von Camfil City ist es, jedem die Möglichkeit zu geben, die Grundlagen unserer Lösungen für saubere Luft zu verstehen.
Zu den Auswirkungen der Korrosion gehört eine erhebliche Verschlechterung der natürlichen und historischen Monumente. Luftverschmutzung verursacht Korrosion, und sie wird weltweit immer schlimmer. Erfahren Sie, wie Sie Ihre Ausrüstung schützen können.
Deutschland