6 overwegingen voor het kiezen van de juiste AMC-filtratie voor halfgeleiderfabricage

Een van de belangrijkste factoren bij het kiezen van een moleculair filter is de filtratie-efficiëntie. AMC-filters worden geïnstalleerd in facilitaire systemen en bovenop gereedschappen of gereedschapsomgeving. In geavanceerde fabs werken waferprocessen met AMC-concentraties van enkele ppb (parts per billion) of sub-pb niveaus, vooral in kritieke gebieden zoals lithografie. Filters met een hoge efficiëntie zorgen voor een effectieve verwijdering van verontreinigingen en minimaliseren het risico op verontreiniging en defecten in halfgeleiderwafers.

Bij Camfil worden onze moleculaire media en AMC filterefficiëntie rigoureus getest volgens ISO 10121 normen onder omstandigheden die nauw aansluiten bij echte toepassingen.

Bij de productie van halfgeleiders worden allerlei procesgassen en chemicaliën gebruikt, die allemaal unieke filtratie-uitdagingen met zich meebrengen. Sommige chemische impregnaties in filters kunnen reageren met deze stoffen, waardoor schadelijke bijproducten ontstaan. Het is cruciaal om moleculaire filters te kiezen die chemisch compatibel zijn met de stoffen die aanwezig zijn in de productieomgeving. Het gebruik van de juiste moleculaire media zorgt ervoor dat de adsorptiesnelheid wordt gemaximaliseerd en de verontreinigingsgraad wordt verminderd.

Bij Camfil gebruiken we een volledig assortiment van verschillende media die zijn ontworpen om uw moleculaire verontreiniging aan te pakken.

De levensduur en onderhoudsvereisten van moleculaire filters hebben een aanzienlijke invloed op de operationele kosten en de productie-efficiëntie. Bij het kiezen van de juiste filter zijn prestaties en levensduur van groot belang. Zorg ervoor dat er een oplossing wordt gekozen die is getest op uw specifieke verontreinigingen en dat de levensduur voor vervanging wordt geoptimaliseerd op basis van minimale prestatieniveaus.

Camfil's unieke MCCLD software voorspelt nauwkeurig de levensduur van uw moleculaire filterinstallatie, terwijl CLEAN AMC het totale AMC-controleconcept en de eigendomskosten optimaliseert. Met CLEAN AMC kunt u verschillende filteroplossingen simuleren om informatie te verzamelen over haalbare AMC-concentraties in verschillende delen van een cleanroomsysteem, bijvoorbeeld boven het plafond, onder de FFU-filters of als een gemiddelde cleanroomconcentratie in de retourluchtbehandelingskast. Deze tools helpen bij het op maat maken van de AMC-oplossingen op basis van de parameters van uw productie-installatie en zorgen voor optimale prestaties en levensduur.

Cleanroomomgevingen in de halfgeleiderproductie voldoen aan strenge reinheidsnormen, wat betekent dat de gekozen filters moeten helpen om aan deze eisen te voldoen of ze te overtreffen. Zorg ervoor dat de moleculaire filters voldoen aan de classificaties en voorschriften voor cleanrooms en aan ISO10121 om te garanderen dat ze geschikt zijn voor het beoogde doel. Filters moeten ontworpen zijn om naadloos te integreren in de cleanroom of gecontroleerde omgeving, met eigenschappen zoals lekvrije afdichtingen, minimale deeltjesuitstoot, lage AMC-uitstoot en compatibiliteit met luchtstroomcontrolesystemen. Door filters te kiezen die voldoen aan de normen voor cleanrooms worden de ultracleane omstandigheden die essentieel zijn voor de fabricage van halfgeleiders gehandhaafd.

De productie van halfgeleiders is een dynamische industrie die wordt gekenmerkt door snelle technologische vooruitgang en veranderende productie-eisen. Houd bij het kiezen van moleculaire filters rekening met hun schaalbaarheid en toekomstbestendigheid. Kies moleculaire filters en systemen die gemakkelijk kunnen worden aangepast aan de toekomstige eisen van uw cleanroom.

Bij Camfil vormt R&D de kern van ons bedrijf. Met moleculaire filtratie ontwikkelingslaboratoria streven we ernaar om de meest efficiënte (zowel filtratie prestaties en energieprestaties) filters op de markt te brengen. Door deze factoren zorgvuldig in overweging te nemen, kunnen fabrikanten van halfgeleiders ervoor zorgen dat ze de meest effectieve AMC-filtratieoplossingen selecteren, waarbij kritieke componenten en processen worden beschermd en een hoge productieopbrengst wordt behouden.

Energiekosten hebben een enorme impact op de productie van halfgeleiders. Zorgen voor de juiste luchtkwaliteit in de gecontroleerde omgevingen is de sleutel tot het optimaliseren van het productieproces. Met AMC filtratie verwijdering ervoor zorgen dat de moleculaire verontreinigingen worden opgevangen op een energie-efficiënte manier kan leiden tot grote besparingen.

Bij Camfil zijn onze AMC filters ontworpen om de drukval over uw HVAC-systeem te verminderen. Onze CamCarb XG heeft aangetoond het energieverbruik tot 35% te verminderen ten opzichte van andere vergelijkbare AMC-filteroplossingen.