Produkcja półprzewodników

W przemyśle półprzewodników, mikro zanieczyszczenia mogą stwarzać poważne problemy. Camfil w celu zatrzymania najmniejszych cząstek i osiągnięcia wysokiej czystości pomieszczeń wg ISO klasa 1, oferuje szeroką gamę produktów od filtracji wstępnej, po filtrację dokładną, HEPA i ULPA, a nawet filtrację molekularną.

Filtracja molekularna kluczowy element w pomieszczeniach czystych.

Zanieczyszczenia molekularne przenoszone drogą powietrzną (AMC) stanowią szczególne wyzwanie w produkcji półprzewodników. Niepożądane reakcje chemiczne kwasów, zasad, substancji organicznych, materiałów ogniotrwałych i domieszek mogą mieć wpływ na powierzchnie płytek i optykę urządzeń procesowych, powodując wady podczas produkcji układów scalonych oraz zmniejszoną wydajność urządzeń i narzędzi.

Kontrola zanieczyszczeń gazowych staje się coraz ważniejsza w krytycznych procesach produkcyjnych w pomieszczeniach czystych. W miarę jak parametry stają się coraz bardziej wymagające, a rozmiary urządzeń kurczą się, sterowanie procesem odbywa się pod ogromną presją. Płytki półprzewodników mogą spędzić nawet cały miesiąc w fabryce, przechodząc setki procesów zanim zostaną wysłane w produkcie końcowym. Każde niewielkie potencjalne zanieczyszczenie w tym łańcuchu produkcyjnym może mieć poważne konsekwencje dla ogólnej wydajności zakładu.

Chroń swoje urządzenia procesowe i płytki drukowane przed mikro cząstkami i zanieczyszczeniami molekularnymi zawieszonymi w powietrzu

Rozwiązania Camfil zapewniają sprawdzoną w praktyce i w laboratorium ochronę w środowiskach produkcji półprzewodników, w tym litografii, wytrawiania, dyfuzji, metalizacji, cienkich folii, implantacji jonów oraz narzędzi inspekcyjnych.

• Filtracja powietrza w narzędziach procesowych
• Filtracja powietrza dla pomieszczeń czystych
• Filtracja powietrza w urządzeniach skanujących

Energooszczędne i niskoemisyjne rozwiązania dla instalacji przemysłowych

Rodzina filtrów wstępnych firmy Camfil zapewnia najniższe zużycie energii w centralach wentylacyjnych chroniąc wysoko skuteczne filtry HEPA przed zbyt szybkim zapchaniem. Filtry absolutne Camfil zostały zaprojektowane tak, aby uwalniać jak najmniej zanieczyszczeń organicznych, które mogłyby przedostać się do procesu (tzw. low outgassing - filtry niskoemisyjne). Filtry motnowane w systemach wywienych chronią środowisko przed zanieczyszczeniami procesowymi.

• Filtry wstępne wolne od boru
• Niskie zużycie energii
• Nisko emisyjne filtry HEPA
• Odpylacze przemysłowe dla czystego powietrza wylotowego