Zlepšite výnos svojich procesov pomocou kompletných riešení pre pokročilú výrobu polovodičov.
V závodoch na výrobu polovodičov môže aj mikrokontaminácia predstavovať obrovské problémy. Spoločnosť Camfil ponúka širokú škálu riešení – predfiltre častíc, filtre HEPA a ULPA a riešenia kontroly AMC – na zníženie akýchkoľvek koncentrácií častíc a molekúl v čistých priestoroch na úroveň ISO triedy 1 pre častice a úroveň sub-ppb pre AMC.
Molekulárna kontaminácia vzduchom (AMC) predstavuje osobitnú výzvu pre výrobu polovodičov malých rozmerov. Nežiaduce chemické reakcie kyselín, zásad, organických látok, žiaruvzdorných látok a dopantov môžu ovplyvňovať povrchy doštičiek a optiku procesných zariadení, čo spôsobuje chyby pri výrobe čipov a zníženú účinnosť zariadení a nástrojov.
AMC sa v kritických procesoch výroby v čistých priestoroch stáva čoraz dôležitejšou. Keďže špecifikácie sú čoraz náročnejšie a veľkosť zariadení sa zmenšuje, riadenie procesu čelí obrovskému tlaku. Doštičky môžu stráviť celý mesiac v závode a prejdú stovkami procesov pred tým, ako sa dostanú do finálneho produktu. Akýkoľvek nepatrný vplyv kontaminácie v tomto reťazci procesov môže mať vážne následky na celkový výnos fabriky.
Ďalšou výzvou je zovšeobecnenie väčších rozmerov doštičiek, čo zvyšuje náklady na jednotlivé doštičky a zvyšuje potrebu ochrany pred nanočasticami a AMC na úrovni nástrojov. Rastúce náklady na bezchybné masky používané v EUV a viacvrstvovej litografii DUV navyše vytvárajú tlak na systémy kontroly kontaminácie pre zariadenia aj pre mini prostredia, ako sú inšpekčné zariadenia a sklady masiek.
Riešenia Camfil poskytujú ochranu v prostredí výroby polovodičov overenú v praxi aj v laboratóriu, vrátane litografie, leptania, difúzie, metalizácie, tenkých vrstiev, iónovej implantácie, kontrolných nástrojov a oblastí na uskladnenie mriežok alebo doštičiek.
Ponuka predfiltrov častíc Camfil zaisťuje najnižšiu spotrebu energie v doplňovacích vzduchotechnických jednotkách a zároveň chráni filtre HEPA pred upchatím, pričom funguje bez uvoľňovania bóru. Filtre HEPA a ULPA spoločnosti Camfil sú navrhnuté tak, aby po rokoch vývoja spojív a chemických vlastností médií uvoľňovali čo najmenšie množstvo organických kontaminantov (tzv. nízke odplynenie). Výfukové systémy na rezanie doštičiek a tiež práčky plynov pre všeobecné záložné výfukové systémy chránia životné prostredie pred kontamináciou.
Chráňte životné prostredie a ľudí pred nebezpečnými alebo vysoko koncentrovanými časticami uvoľňovanými z priemyselných procesov. Dodržiavajte miestne bezpečnostné predpisy a znižujte prevádzkové náklady vášho filtračného systému na odsávanie vzduchu.
Stropy čistých priestorov sú navrhnuté tak, aby poskytovali pred molekulami, nanočasticami a časticami pre zariadenia, procesy a vyrobené výrobky do čistých priestorov vysokú úroveň ochrany. V závislosti od dizajnu čistých priestorov používajú stropy laminárne alebo turbulentné prúdenie vzduchu.
Recirkulačné vzduchové jednotky sa používajú na zabezpečenie čistého a temperovaného vzduchu pre zariadenia, buď ako doplnok alebo náhrada k stropným systémom.
Mikroelektronické procesy v čistých priestoroch alebo mini prostrediach vyžadujú ochranu pred časticami a molekulárnymi plynnými kontaminantmi. Medzi procesy patrí litografia, leptanie, difúzia, metalizácia, tenké filmy, implantácia iónov, nástroje na kontrolu a skladovatelia sieťovín.
Vzduchotechnické jednotky, ktoré poskytujú rôznym odvetviam upravený vonkajší vzduch, sú dôležitou súčasťou systémov zariadení a vytvárajú pretlak v miestnosti. Doplňovaný vzduch musí byť riadne filtrovaný, aby bola zabezpečená ochrana potrubí, osôb, procesov a produktov.
HEPA filtration is required in a range of different Industries from Pharmaceuticals, Hospitals, Microelectronics and even the Food and Beverage Industry. Learn about the changing trends in HEPA filtration requirements, How HEPA filtration has advanced over the last number of years and how to identify and reduce the associated costs to your clean air requirements
Air quality Life science and healthcare
Some of the effects of corrosion include a significant deterioration of natural and historic monuments. Air pollution causes corrosion, and it’s becoming worse worldwide. Learn how to protect your equipment.
Electronics and optics
Slovensko