Zlepšite výnos svojich procesov pomocou kompletných riešení pre pokročilú výrobu polovodičov.
V závodoch na výrobu polovodičov môže aj mikrokontaminácia predstavovať obrovské problémy. Spoločnosť Camfil ponúka širokú škálu riešení – predfiltre častíc, filtre HEPA a ULPA a riešenia kontroly AMC – na zníženie akýchkoľvek koncentrácií častíc a molekúl v čistých priestoroch na úroveň ISO triedy 1 pre častice a úroveň sub-ppb pre AMC.
Molekulárna kontaminácia vzduchom (AMC) predstavuje osobitnú výzvu pre výrobu polovodičov malých rozmerov. Nežiaduce chemické reakcie kyselín, zásad, organických látok, žiaruvzdorných látok a dopantov môžu ovplyvňovať povrchy doštičiek a optiku procesných zariadení, čo spôsobuje chyby pri výrobe čipov a zníženú účinnosť zariadení a nástrojov.
AMC sa v kritických procesoch výroby v čistých priestoroch stáva čoraz dôležitejšou. Keďže špecifikácie sú čoraz náročnejšie a veľkosť zariadení sa zmenšuje, riadenie procesu čelí obrovskému tlaku. Doštičky môžu stráviť celý mesiac v závode a prejdú stovkami procesov pred tým, ako sa dostanú do finálneho produktu. Akýkoľvek nepatrný vplyv kontaminácie v tomto reťazci procesov môže mať vážne následky na celkový výnos fabriky.
Ďalšou výzvou je zovšeobecnenie väčších rozmerov doštičiek, čo zvyšuje náklady na jednotlivé doštičky a zvyšuje potrebu ochrany pred nanočasticami a AMC na úrovni nástrojov. Rastúce náklady na bezchybné masky používané v EUV a viacvrstvovej litografii DUV navyše vytvárajú tlak na systémy kontroly kontaminácie pre zariadenia aj pre mini prostredia, ako sú inšpekčné zariadenia a sklady masiek.
Riešenia Camfil poskytujú ochranu v prostredí výroby polovodičov overenú v praxi aj v laboratóriu, vrátane litografie, leptania, difúzie, metalizácie, tenkých vrstiev, iónovej implantácie, kontrolných nástrojov a oblastí na uskladnenie mriežok alebo doštičiek.
Ponuka predfiltrov častíc Camfil zaisťuje najnižšiu spotrebu energie v doplňovacích vzduchotechnických jednotkách a zároveň chráni filtre HEPA pred upchatím, pričom funguje bez uvoľňovania bóru. Filtre HEPA a ULPA spoločnosti Camfil sú navrhnuté tak, aby po rokoch vývoja spojív a chemických vlastností médií uvoľňovali čo najmenšie množstvo organických kontaminantov (tzv. nízke odplynenie). Výfukové systémy na rezanie doštičiek a tiež práčky plynov pre všeobecné záložné výfukové systémy chránia životné prostredie pred kontamináciou.
Chráňte životné prostredie a ľudí pred nebezpečnými alebo vysoko koncentrovanými časticami uvoľňovanými z priemyselných procesov. Dodržiavajte miestne bezpečnostné predpisy a znižujte prevádzkové náklady vášho filtračného systému na odsávanie vzduchu.
Mikroelektronické procesy v čistých priestoroch alebo mini prostrediach vyžadujú ochranu pred časticami a molekulárnymi plynnými kontaminantmi. Medzi procesy patrí litografia, leptanie, difúzia, metalizácia, tenké filmy, implantácia iónov, nástroje na kontrolu a skladovatelia sieťovín.
Recirkulačné vzduchové jednotky sa používajú na zabezpečenie čistého a temperovaného vzduchu pre zariadenia, buď ako doplnok alebo náhrada k stropným systémom.
Vzduchotechnické jednotky, ktoré poskytujú rôznym odvetviam upravený vonkajší vzduch, sú dôležitou súčasťou systémov zariadení a vytvárajú pretlak v miestnosti. Doplňovaný vzduch musí byť riadne filtrovaný, aby bola zabezpečená ochrana potrubí, osôb, procesov a produktov.
Stropy čistých priestorov sú navrhnuté tak, aby poskytovali pred molekulami, nanočasticami a časticami pre zariadenia, procesy a vyrobené výrobky do čistých priestorov vysokú úroveň ochrany. V závislosti od dizajnu čistých priestorov používajú stropy laminárne alebo turbulentné prúdenie vzduchu.
Some of the effects of corrosion include a significant deterioration of natural and historic monuments. Air pollution causes corrosion, and it’s becoming worse worldwide. Learn how to protect your equipment.
Electronics and optics
Slovensko