Beskyttelse af kritiske komponenter
I halvlederproduktion kan forurening føre til defekter, elektriske fejl eller komplette fejl, der resulterer i kvalitetsproblemer og tab af produktionsudbytte. Partikelforurening har været velkendt og kontrolleret, men for avancerede teknologier er materialer og processer mere følsomme over for luftbåren molekylær forurening (AMC).
AMC-filtre spiller en afgørende rolle i at fjerne molekylære forureninger som syrer, baser, dopanter og flygtige organiske forbindelser (VOC'er), der sikrer fremstillingen af logik eller hukommelseschips.
Herunder listes seks vigtige overvejelser, når man skal vælge det rigtige molekylære filter til halvlederproduktion.
Thi-Quynh
Nguyen Mazo
EMEA Product Manager,
Molekulær filtrering
En af de primære faktorer, man skal overveje, når man vælger et molekylært filter, er dets filtreringseffektivitet. AMC-filtre installeres i facilitetssystemer og oven på værktøjer eller værktøjsmiljøer. På avancerede fabrikker arbejder waferprocesser med AMC-koncentrationer på få ppb (parts per billion) eller sub ppb-niveauer, især i kritiske områder som f.eks. litografi. Filtre med høj effektivitet sikrer effektiv fjernelse af forurening og minimerer risikoen for forurening og defekter i halvlederwafers.
Hos Camfil testes vores molekylære medier og AMC-filtereffektivitet grundigt i henhold til ISO 10121-standarderne under forhold, der ligger tæt op ad den virkelige verden.
Halvlederproduktion involverer en række forskellige procesgasser og kemikalier, som hver især giver unikke filtreringsudfordringer. Nogle kemiske imprægneringer i filtre kan reagere med disse stoffer og skabe skadelige biprodukter. Det er afgørende at vælge molekylære filtre, der er kemisk kompatible med de stoffer, der findes i produktionsmiljøet. Ved at bruge de rigtige molekylære medier sikres det, at adsorptionshastigheden maksimeres, og at forureningsgraden reduceres.
Hos Camfil bruger vi et komplet udvalg af forskellige medier, der er designet til at ramme din molekylære forurening.
Molekylære filtres levetid og vedligeholdelseskrav har stor indflydelse på driftsomkostninger og produktionseffektivitet. Når man overvejer det rigtige filter, er effektivitet og levetid afgørende. Sørg for at vælge en løsning, der er testet mod dine specifikke forurenende stoffer, og at levetiden for udskiftning er optimeret ud fra minimumsniveauer for effektivitet.
Camfils unikke MCCLD-software forudsiger nøjagtigt levetiden for din molekylære filtreringsinstallation, mens CLEAN AMC optimerer det samlede AMC-kontrolkoncept og totalomkostningerne. CLEAN AMC giver dig mulighed for at simulere forskellige filterløsninger ved at indsamle oplysninger om opnåelige AMC-koncentrationer i forskellige dele af et renrumssystem, f.eks. over loftet, under FFU-filtre eller som en gennemsnitlig renrumskoncentration i retur-AHU. Disse værktøjer hjælper med at skræddersy AMC-løsninger baseret på parametrene i dit produktionsanlæg, hvilket giver optimeret efektivitet og levetid.
Renrumsmiljøer i halvlederproduktion overholder strenge renhedsstandarder, hvilket betyder, at de valgte filtre skal møde eller overgå disse krav. Sørg for, at molekylærfiltrene er i overensstemmelse med renrumsklassifikationer og -bestemmelser samt ISO10121 for at sikre, at de er egnede til formålet. Filtre skal være designet til at kunne integreres problemfrit i renrummet eller det kontrollerede miljø med funktioner som lækagefri tætninger, minimal partikelafgivelse, lav AMC-udgasning og kompatibilitet med luftstrømskontrolsystemer. Ved at vælge filtre der er i overensstemmelse med renrumsstandarder, sikres opretholdelsen af ultrarene forhold, der er afgørende for fremstilling af halvledere.
Halvlederproduktion er en dynamisk industri, der er kendetegnet ved hurtige teknologiske fremskridt og skiftende produktionskrav. Når du vælger molekylære filtre, skal du overveje deres skalerbarhed og potentiale for fremtidssikring. Vælg molekylære filtre og systemer, der nemt kan skaleres, så de passer til de fremtidige krav i dit renrum.
Hos Camfil er forskning og udvikling kernen i vores virksomhed. Med udviklingslaboratorier for molekylær filtrering sigter vi mod at bringe de mest effektive (både filtreringseffektivitet og energieffektivitet) filtre på markedet. Ved nøje at overveje disse faktorer kan halvlederproducenter sikre, at de vælger de mest effektive AMC-filtreringsløsninger, der beskytter kritiske komponenter og processer og opretholder et højt produktionsudbytte.
Energiomkostninger har stor indflydelse på produktionen af halvledere. At sikre den rette luftkvalitet i de kontrollerede miljøer er nøglen til at optimere fremstillingsprocessen. Med AMC-filtrering kan det føre til store besparelser at sikre, at den molekylære forurening filtreres på en energieffektiv måde.
Camfils AMC-filtre designet til at reducere tryktab i dit HVAC-system. Vores CamCarb XG har vist sig at reducere energiforbruget med op til 35% i forhold til andre sammenlignelige AMC-filterløsninger - se mere her.
Danmark