無塵室中HEPA濾網的測試
HEPA濾網驗證介紹
高效顆粒空氣（High-Efficiency Particulate Air，HEPA）濾網在維護無塵室空氣品質方面至關重要，通過去除空氣中的污染物來保證空氣潔淨。為了確保最佳性能，HEPA濾網的驗證至關重要。ISO 14644-3概述了在潔淨室環境中驗證濾網效率和完整性所需的測試方法。
ISO 14644-3 定義了測試無塵室環境的方法，包括 HEPA 濾網驗證。主要的測試包括：
1. 洩漏測試
–檢測過濾媒材或外殼中是否存在旁路或微小孔洞。使用如 DEHS 或 PAO 等氣溶膠挑戰進行測試。這些測試在安裝時進行，確保 HEPA 濾網適用於目的。使用按照 EN1822 標準單獨測試的濾網可以幫助減少現場失敗率。
2. 氣流速度與均勻性測試 – 測量氣流分佈，確保潔淨室內的空氣流動一致。
3. 顆粒計數 – 在過濾前後評估空氣中顆粒物的濃度，以驗證是否符合 ISO 14644-1 的分類。根據所需維護的 ISO 等級無塵室，會有目標顆粒濃度。該圖表顯示每個無塵室所需的目標顆粒濃度水平。
4. 濾網完整性測試 – 濾網完整性測試確保過濾器符合效率標準，並且根據所使用的濾網，進入無塵室的顆粒物應該只有 0.1%（H13 過濾器）或 0.01%（H14 過濾器）來自預過濾階段的顆粒水平。這些測試定期進行，以確保無塵室的空氣品質得以維持。
5. 壓力差測試 – 壓差較高的濾網會消耗更多能量。壓差測試評估對氣流的阻力，確保濾網在可接受的範圍內運行，而不會導致過度的能量消耗。
為了獲得可靠的測試結果並維持ISO 14644-3的合規性，請考慮以下最佳施行：
定期進行HEPA濾網驗證不僅確保符合ISO標準，還能提高無塵室效率，減少污染風險。實施結構化的驗證計劃有助於維持高效能的過濾性能，並延長無塵室設備的使用壽命。
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