讓高性能的無塵室過濾成為製造平板顯示器的關鍵組成部分。符合嚴格的空氣潔淨度標準,同時提高良率,降低成本。
平板顯示器(FPD)市場競爭激烈,技術多樣。針對於此,製造商致力於開發更高解析度的顯示器、新的製造技術和更具成本效益的生產工藝。
隨著市場對更高解析度的需求不斷增加,涉及到環境空氣,潔淨製程以及液體製程的污染控制要求比以往更高。奈米製程需要將越來越小的污染物控制在更微小的濃度水準。在關鍵製程步驟中,大面積面板上積累粉塵顆粒的可能性非常高。
由於大多數FPD工廠的廠房面積很大,需要的送風量和迴圈風量很大,強化污染控制措施,保障節能仍然是該行業的關鍵要務。LED和OLED製造製程廣泛使用溶劑,因此,保護員工健康也是一個關鍵問題。
Camfil的HEPA和ULPA濾網經過100%品質檢驗,確保100%符合無塵室空氣品質標準。我們的套裝軟體由生命週期成本(LCC)、無塵室(CREO)和氣體分子污染物(AMC)等組成,可幫助您強化環境,實現良好的總成本控制。
選擇Camfil廣泛的創新型節能濾網,可以節省大量能源成本 - 每個設施每年可節省高達數十萬美元。我們借鏡在半導體製造行業取得成功的AMC過濾案例,在FPD應用中提供針對不同製程步驟中不同類型污染物的解決方案。
最後,Camfil排氣處理系統能夠控制FPD生產中使用排放的高濃度粉塵和化學氣體。
無論您的無塵室過濾需求如何,Camfil都能為顯示器製造商提供所需的技術和專業知識,幫助他們提高顯示器品質,降低產品良率損失,最大限度地減少停機時間,提高獲利能力。
保護環境和人員免受工業過程中釋放的危險高濃度顆粒和分子污染物的影響,以符合當地安全法規並降低廢氣過濾系統的營運成本。
再循環空氣單元用於為設施提供清潔和回火的空氣,作為吊頂送風系統和風機過濾器單元的補充或替代。再循環空氣需要過濾以保護人員,過程和產品。
無塵室及小型環境中的微電子製程需要防止顆粒和分子氣體污染物的污染。 製程包括光刻、塗布機開發、蝕刻、擴散、金屬化、薄膜、離子注入、檢查工具和光罩儲料器。
空調箱為工業提供經過過濾處理的潔淨空氣,來保護設施系統的關鍵零件,用於產生房間正壓並補償排氣。 補充的空氣需要適當的過濾,以保護盤管、通風管道、人員、製程和產品
無塵室天花板旨在為無塵室設備,製程和製造產品的分子(氣體)污染物,奈米顆粒和微米顆粒提供高保護水準。 根據無塵室設計,天花板使用層流或湍流氣流。
CamCarb XG 在化學分子污染控制應用中,設計用於節省能源和維護成本。
Electronics and optics Food and beverage Commercial and public buildings並不是所有購買我們產品的人都是空氣過濾方面的專家,他們也不需要成為專家。康法 (camfil)的目的是讓每個人都有機會了解我們的潔淨空氣解決方案能為他們做些什麼。
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