การปกป้องส่วนประกอบที่สำคัญ

สิ่งสำคัญ 6 ประการในการเลือกตัวกรองโมเลกุลที่เหมาะสมสำหรับอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การปนเปื้อนเพียงเล็กน้อยอาจส่งผลให้เกิดข้อบกพร่องที่บานปลายได้ ไฟฟ้าขัดข้องหรือการล้มเหลวของระบบเทคโนโลยขั้นสูงยิ่งต้องการการปกป้องที่สูงเนื่องจากกระบวนการทำงานและระบบต่างๆจะอ่อนไหวและไวต่อการปนเปื้อนจากโมเลกุลในอากาศ (AMC)

ตัวกรอง AMC มีบทบาทสำคัญอย่างมากในการกำจัดสิ่งปนเปื้อนระดับโมเลกุล เช่น กรด เบส สารเจือปนและสารประกอบอินทรีย์ (VOCs) เพื่อปกป้องกระบวนการผลิต.

ข้อควรพิจารณา 6 ประการในการเลือกตัวกรองโมเลกุลที่เหมาะสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์: 

Thi-Quynh
Nguyen Mazo

EMEA Product Manager,
 Molecular Filtration

Connect with me

สิ่งสำคัญ 6 ประการในการเลือกตัวกรอง AMC

ประสิทธิภาพการกรอง

ปัจจัยในการเลือกตัวกรองอากาศโมเลกุลคือประสิทธิภาพการกรอง AMC ที่ติดตั้งภายในระบบเนื่องจากความเข้มข้นของ AMC ที่ระดับ ppb (1 ส่วนในพันล้านส่วน) การมีตัวกรองประสิทธิภาพสูงที่ช่วยจัดการสิ่งปนเปื้อนอย่างมีประสิทธิภาพช่วยลดข้อบกพร่องในขั้นตอนผลิตและปกป้องผู้คนอีกด้วย.

แผ่นกรองอากาศ AMC ของ Camfil ได้รับการทดสอบประสิทธิภาพตาม ISO 10121 standards.

การกำจัดสารเคมีและสิ่งปนเปื้อน

ขั้นตอนกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์นั้นมีขั้นตอนที่ก่อให้เกิดก๊าซและทำให้และสารเคมีผ่านกระบวนการต่างๆ เมื่ออสารเคมีและก๊าซเหล่านี้ทำปฎิกริยาทำให้เกิดอันตรายต่ออุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ การใช้ตัวกรองโมเลกุลที่มีมาตรฐานทำให้สามารถป้องกันอันตรายจากสารเคมีและก๊าซที่เป็นอันตรายเหล่านี้ได้แผ่นกรองอากาศของ Camfil มีประสิทธิภาพการดูดซับกลิ่นและก๊าซสูงตามมาตรฐานสากล.

Camfil เรามีตัวกรองโมเลกุลมากมายหลากหลายรูปแบบให้สามารถเลือกใช้ให้เหมาะสมกับความต้องการของคุณ.

Longevity & maintenance requirements

Created 8 ตุลาคม 2567

ส่วนสำคัญอีกประการคืออายุการใช้งานและการบำรุงรักษาตัวกรองทำให้เกิดการเพิ่มต้นทุนและประสิทธิภาพการผลิต ดังนั้นส่วนสำคัญคืออายุการใช้งานและประสิทธิภาพของตัวกรองให้เหมาะสมกับประสิทธิภาพเริ่มต้นตามมาตรฐาน.

ซอฟต์แวร์ MCCLD ที่เป็นเอกลักษณ์ของ Camfil สามารถคาดการการติดตั้งตัวกรองอากาศได้อย่างแม่นยำในขณะที่ CLEAN AMC สามารถคำนวณต้นทุนและจำลองการกรองเพื่อรวบรวมข้อมูลนำมาวิเคราะห์ เครื่องทอเหล่านี้ช่วยในการพัฒนานวัตกรรมในการกรองอากาศทำให้ประสิทธิภาพและอายุการใช้งานเหมาะสม.

การปรับปรุงคุณภาพให้เหมาะสมกับมาตรฐานห้องสะอาด (Cleanroom)

สภาพแวดล้อมภายในห้องสะอาด (Cleanroom) ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ควรเป็นไปตามมารฐานความสะอาดที่เข้มงวด หมายถึงตัวกรองอากาศควรได้มาตรฐานตามข้อกำหนดหรือสูงกว่ามาตรฐานที่กำหนด ตัวกรองโมเลกุลควรเป็นไปตามมาตรฐาน ISO10121 ควรมีการซีลกันการรั่วซึม การปล่อยอนุภาคต่ำ ข้อกำหนดต่างๆนี้ถทอเป็นส่วนสำคัญในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์.

Scalability and future-proofing

การผลิตเซมิคอนดักเตอร์มีการเจริญเติบโตและพัฒนาทางเทคโนโลยีอย่างรวดเร็วและการผลิตที่มีการเปลี่ยนแปลงตลอดเวลา เมื่อต้องพิจารณาในการเลือกตัวกรองในการปรับปรุงคุณภาพการผลิต ควรเลือกตัวกรองที่มีคุณภาพและความยืดหยุ่นให้เหมาะสมกับการความต้องการ.

Camfil R&D มีห้องปฎิบัติการที่ทำการวิเคราะห์และพัฒนาการกรองโมเลกุลให้มีแผ่นกรองอากาศประสิทธิภาพสูงออกสู่ตลาดด้วยการพิจารณาปัจจัยต่างๆอย่างรอบคอบ ทำให้ผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์สามารถมั่นใจได้ว่านวัตกรรมการกรอง AMC ของเรามีประสิทธิภาพสูงสุดและสามารถปกป้องผลิตภัณฑ์และการผลิตได้อย่างมีประสิทธิภาพ.

ประสิทธิภาพการใช้พลังงาน

ต้นทุนด้านพลังงานมีผลกระทบอย่างมากต่อการผลิตเซมิคอนดักเตอร์การตรวจสอบให้มั่นใจว่าสภาพแวดล้อมการทำงานนั้นเหมาะสมเป็นส่วนสำคัญในการเพิ่มประสิทธิภาพในการผลิต ด้วยตัวกรอง AMC ช่วยในการกรองสิ่งปนเปื้อนระดับโมเลกุลช่วยให้การผลิตทำงานได้อย่างเต็มประสิทธิภาพโดยไม่เสียพลังงานโดยไม่จำเป็น.

ตัวกรอง AMC ของเราได้รับการออกแบบมาเพื่อลดแรงดันตกคร่อมในระบบ RHVAC CamCarb XG สามารถช่วยลดพลังงานได้มากถึง 35% เมื่อเทียบกับตัวกรอง AMC อื่นๆ  see more.

Written by: Thi Quynh Nguyen Mazo, EMEA Product Manager Molecular Filtration