Verhoog uw procesopbrengst met complete oplossingen voor geavanceerde halfgeleiderproductie.
In de halfgeleiderfabricage kan microcontaminatie enorme problemen veroorzaken. Camfil biedt een breed assortiment aan oplossingen – voorfilters voor deeltjes, HEPA- en ULPA-filters en AMC-controle-oplossingen – om de concentraties van deeltjes en moleculen in cleanrooms te verlagen tot ISO klasse 1 niveaus voor deeltjes en sub-ppb voor AMC.
Door de lucht verspreide moleculaire verontreiniging (AMC) vormt een speciale uitdaging voor de productie van halfgeleiders in kleine dimensies. De ongewenste chemische reactie van zuren, basen, organische stoffen, vuurvaste materialen en doteermiddelen kunnen wateroppervlakken en optische procesapparatuur beïnvloeden waardoor defecten tijdens de chipproductie kunnen ontstaan en de efficiëntie van apparatuur en gereedschap kan worden aangetast.
AMC wordt steeds belangrijker in essentiële cleanroomproductieprocessen. Met de steeds veeleisender wordende specificaties en de steeds afnemende grootte van apparaten neemt de druk op procescontrole enorm toe. Wafers kunnen wel een maand in de fabriek blijven, waarbij ze honderden processen ondergaan voordat ze in een eindproduct terecht komen. Elke kleine vervuiling tijdens deze procesketen kan ernstige gevolgen hebben voor de totaalopbrengst van de fabriek.
De generalisatie van grotere afmetingen van wafers biedt ook een uitdaging, het drijft de kosten op van individuele wafers en vergroot de behoefte aan bescherming van gereedschap tegen nanodeeltjes en AMC. Daarnaast oefenen de stijgende kosten van defect-vrije maskers voor EUV en multi-patterning DUV lithografie druk uit op de contaminatie-controle systemen voor zowel gehele productiefaciliteiten als kleine ruimtes zoals uitrusting voor inspectie en opslag voor maskers.
De oplossingen van Camfil bieden zowel in het laboratorium als in de praktijk bewezen bescherming in productieomgevingen van halfgeleiders, inclusief lithografie, etsen, diffusie, metallisatie, dunne-films, ionenimplantatie, inspectie uitrusting en opslagruimtes voor systeemrasters of wafers.
Het assortiment van voorfilters voor deeltjes van Camfil garandeert het laagste energieverbruik in suppletie luchtbehandelingssystemen en beschermt tegelijkertijd HEPA-filters tegen verstopping en stoot geen borium uit. Door jaren van ontwikkeling van lijmen en de chemische eigenschappen van media, zijn de HEPA-en ULPA-filters van Camfil zo ontworpen dat ze zo min mogelijk organische vervuiling uitstoten (zogenaamd laag-uitgassing). Zowel de afvoersystemen voor wafersnijders als gaswassers voor de algemene afvoerback-upsystemen beschermen de omgeving tegen procesverontreiniging.
Bescherm mensen en het milieu tegen gevaarlijke of hoge concentraties van deeltjes en moleculen die vrijkomen bij industriële processen, respecteer de lokale veiligheidsvoorschriften en verlaag de werkingskosten van uw luchtafvoerfiltersysteem.
Micro-elektronische processen in cleanrooms of mini-omgevingen vereisen bescherming tegen deeltjes en moleculaire gasvormige verontreinigingen. Processen omvatten lithografie, coaterontwikkelaars, etsen, diffusie, metallisering, dunne films, ionenimplantatie, inspectie-instrumenten en reticle stockers.
Luchtbehandelingskasten die geconditioneerde buitenlucht leveren aan de industrie zijn een essentieel onderdeel van facilitaire systemen, om een overdruk in de ruimte te creëren en de afvoerlucht te compenseren. Voor de samenstelling van lucht is een goede filtratie nodig ter bescherming van spoelen en kanalen, mensen, processen en producten.
Recirculatie-units worden gebruikt om schone en verwarmde lucht te leveren aan installaties, als aanvulling op of in plaats van plafondsystemen en ventilatorfilterunits. De gerecirculeerde lucht heeft filtratie nodig om medewerkers, processen en producten te beschermen.
Cleanroomplafonds zijn ontworpen om hoge beschermingsniveaus te bieden tegen moleculen (gasfase), nanodeeltjes en deeltjes voor cleanroomapparatuur, -processen en -producten. Plafonds maken gebruik van laminaire of turbulente luchtstromen, afhankelijk van het ontwerp van de cleanroom.
CamCarb XG Ontworpen voor besparingen in energie- en onderhoudskosten in toepassingen voor moleculaire verontreinigingscontrole
Micro-electronica Food and beverage Commerciele en publieke gebouwenVaak is de eerste aankoopprijs voor luchtfilters of stofafzuigers slechts het topje van de ijsberg. De werkelijke kosten voor energie, onderhoud en afvalverwijdering liggen onder het oppervlak. Om op lange termijn de meest economische beslissing te nemen, zal een gedetailleerde berekening van alle factoren helpen om uw totale uitgaven te beperken.
Micro-electronica Food and beverage Life science en healthcare Commerciele en publieke gebouwen Standaarden en regelgevingen Duurzaamheid Productie En machines
Enkele van de effecten van corrosie zijn een aanzienlijke aantasting van natuurlijke en historische monumenten. Luchtvervuiling veroorzaakt corrosie, en het wordt wereldwijd steeds erger. Leer hoe u uw apparatuur kunt beschermen.
België