Publisert onsdag 24. juli 2024
I halvlederproduksjon kan forurensning føre til defekter, elektriske feil eller fullstendig svikt, noe som resulterer i kvalitetsproblemer og tap av produksjonsutbytte. Partikkelforurensning er velkjent og kontrollert, men for avanserte teknologier er materialer og prosesser mer følsomme for luftbåren molekylær forurensning (AMC).
AMC-filtre spiller en avgjørende rolle når det gjelder å fjerne molekylære forurensninger som syrer, baser, dopingmidler og flyktige organiske forbindelser (VOC) som sikrer produksjon av logikk- eller minnebrikker.
Nedenfor finner du seks viktige faktorer som må tas i betraktning når du skal velge riktig molekylært filter for halvlederproduksjon.
En av de viktigste faktorene man må ta hensyn til når man velger et molekylært filter, er filtreringseffektiviteten. AMC-filtre installeres i anleggssystemer og på toppen av verktøy eller verktøymiljøer. I avanserte fabrikker opererer waferprosesser med AMC-konsentrasjoner på noen få ppb (parts per billion) eller sub ppb-nivåer, spesielt i kritiske områder som litografi. Høyeffektive filtre sikrer effektiv fjerning av forurensning og minimerer risikoen for forurensning og defekter i halvlederwafere.
Hos Camfil testes molekylære medier og AMC-filtereffektiviteten vår grundig i henhold til ISO 10121-standarder under tilnærmet virkelige forhold.
Halvlederproduksjon involverer en rekke ulike prosessgasser og kjemikalier, som hver for seg byr på unike filtreringsutfordringer. Noen kjemiske impregneringer i filtre kan reagere med disse stoffene og skape skadelige biprodukter. Det er avgjørende å velge molekylære filtre som er kjemisk kompatible med stoffene som finnes i produksjonsmiljøet. Ved å bruke de riktige molekylære mediene sikrer man at adsorpsjonshastigheten maksimeres og forurensningsnivået reduseres.
Hos Camfil bruker vi et komplett utvalg av ulike medier som er utviklet for å håndtere molekylære forurensninger.
Levetiden og vedlikeholdskravene til molekylære filtre har stor innvirkning på driftskostnadene og produksjonseffektiviteten. Når du skal velge riktig filter, er effektivitet og levetid avgjørende. Sørg for at du velger en løsning som er testet mot dine spesifikke forurensninger, og at levetiden for utskifting er optimalisert basert på minimumseffektivitetsnivåer.
Camfils unike MCCLD-programvare forutser nøyaktig levetiden til din molekylære filtreringsinstallasjon, mens CLEAN AMC optimaliserer det overordnede AMC-kontrollkonseptet og de totale eierkostnadene. CLEAN AMC lar deg simulere ulike filterløsninger ved å samle inn informasjon om oppnåelige AMC-konsentrasjoner i ulike deler av et renromssystem, f.eks. over taket, under FFU-filter eller som en gjennomsnittlig renromskonsentrasjon i returluftbehandlingsaggregatet. Disse verktøyene bidrar til å skreddersy AMC-løsninger basert på parameterne i produksjonsanlegget ditt, noe som resulterer i optimalisert effektivitet og levetid.
Renromsmiljøer i halvlederproduksjon er underlagt strenge renhetsstandarder, noe som betyr at filtrene du velger, må oppfylle eller overgå disse kravene. Sørg for at molekylære filtre er i samsvar med renromsklassifiseringer og -forskrifter samt ISO10121 for å sikre at de er egnet for formålet. Filtrene bør være utformet slik at de kan integreres sømløst i renrommet eller det kontrollerte miljøet med funksjoner som lekkasjefrie tetninger, minimalt partikkelutslipp, lav AMC-utgassing og kompatibilitet med luftstrømskontrollsystemer. Ved å velge filtre som overholder renromsstandardene, sikrer man at de ultrarene forholdene som er avgjørende for halvlederproduksjon, opprettholdes.
Halvlederproduksjon er en dynamisk bransje som kjennetegnes av raske teknologiske fremskritt og skiftende produksjonskrav. Når du velger molekylære filtre, bør du vurdere deres skalerbarhet og fremtidssikringspotensial. Velg molekylære filtre og systemer som enkelt kan skaleres for å passe til de fremtidige kravene til renrommet ditt.
Hos Camfil er forskning og utvikling kjernen i virksomheten vår. Med våre utviklingslaboratorier for molekylærfiltrering har vi som mål å bringe de mest effektive filtrene (både når det gjelder filtreringseffektivitet og energieffektivitet) ut på markedet. Ved å vurdere disse faktorene nøye kan halvlederprodusenter sikre at de velger de mest effektive AMC-filtreringsløsningene som beskytter kritiske komponenter og prosesser og opprettholder et høyt produksjonsutbytte.
Energikostnadene har stor innvirkning på produksjonen av halvledere. Å sikre riktig luftkvalitet i kontrollerte miljøer er nøkkelen til å optimalisere produksjonsprosessen. Med AMC-filtrering kan man sikre at molekylære forurensninger filtreres på en energieffektiv måte, noe som kan føre til betydelige besparelser.
Camfil AMC-filtre er utviklet for å redusere trykktapet i HVAC-systemet ditt. Vår CamCarb XG har vist seg å redusere energiforbruket med opptil 35 % sammenlignet med andre sammenlignbare AMC-filterløsninger - se mer her.
Skrevet av: Thi Quynh Nguyen Mazo, EMEA Product Manager Molecular Filtration
-v01-Product-picture_gasket.png?width=300&height=300&bgcolor=white)
Norway