Intensiver produksjonsfortjenesten med komplette løsninger til avansert halvlederfermstilling.
På halvlederfabrikker kan mikrokontaminering gi store problemer. Camfil tilbyr et bredt spekter av løsninger – partikkel-forfilter, HEPA og ULPA filter og løsninger til AMC-kontroll – for å reduserer partikulære og molekylære konsentrasjoner i renrom til ISO klasse 1 nivå for partikler og sub-ppb for AMC.
Luftbåren molekylær forurensning (AMC) utgjør en særlig utfordring for halvlederproduksjon i små dimensjoner. De uønskede kjemiske reaksjoner fra syrer, baser, organiske stoffer, ildfaste materialer og tilsetningsstoffer kan påvirke waferoverflater og prosessutstyrsoptikk til å lage defekter under chip-produksjon og redusere effektivitet på utstyr og verktøy.
AMC blir stadig viktigere i forbindelse med kritiske produksjonsprosesser i renrom. Fordi spesifikasjonene blir mer krevende og størrelsene på enhetene blir mindre, stilles prosesskontrollen overfor et stort press. Wafers kan tilbringe en hel måned på en fabrikk og gjennomgå hundrevis av prosesser innen de installeres i et sluttprodukt. Enhver liten forurensningspåvirkning i denne prosesskjeden kan få alvorlige konsekvenser for fabrikkens lønnsomhet.
En annen utfordring ligger i generaliseringen av større waferdimensjoner, noe som øker omkostningene ved individuelle wafers, og øker behovet for nanopartikkel- og AMc-beskyttelse på verktøy. Dessuten legger stadig stigende omkostninger på feilfrie masker som brukes i EUV og multi-mønster DUV-litografier større press på kontrollsystemer for fabrikker, samt minimiljøer som inspeksjonsutstyr og maskeholdere.
Camfils løsninger gir felt- og laboratoriebevist beskyttelse i halvlederproduksjonsmiljø, herunder litografi, etsing, spredning, metallisering, thin-film, ionimplantasjon, inspeksjonsverktøy og retikkel- eller waferlagringsområder.
· Luftfilter til prosessverktøy
· Luftfilter til renrom
· Forfiltrering til scanningssystemer
Camfils forfiltersortiment til partikkelfiltrering sikrer det laveste energiforbruket i luftbehandlingsaggregater, samtidig med at HEPA-filter beskyttes mot tilstopping og uten å frigi bor. Camfils HEPA- og ULPA-filter er designet for å frigjøre minst mulig mengder organiske forurensninger (såkalt lav avgassing), etter år med utvikling av limstoffer og mediakjemiske egenskaper. Avtrekkssystemer for wafeskjæring samt gass-scrubbere for generelle backup systemer for avtrekk beskytter miljøet mot prosessforurensning.
Beskytt mennesker og miljø fra farlige eller høye konsentrasjoner av partikler og molekyler frigjort av industrielle prosesser. Overhold lokale sikkerhetsforskrifter og reduser driftskostnadene til ventilasjonssystemet.
Mikroelektroniske prosesser i rene rom eller minimiljøer krever beskyttelse mot partikler og molekylære gassforurensninger. Prosesser omfatter metallisering, ionisering og inspeksjon av måleverktøy.
Luftrensere for sirkulasjonsluft brukes til å gi ren og temperert luft til bygninger som et supplement eller erstatning til taksystemer og ventilasjonssystem. Resirkulert luft trenger filtrering for å besytte mennesker, prosesser og produkter.
Ventilasjonsanlegg som renser forurenset uteluft, er viktig for å skape overtrykk i rommet og kompensere for avtrekksluft. Ventilasjonsanlegg trenger korrekt filtrering til beskyttelse av flater og kanaler, mennesker, prosesser og produkter.
Renromstak er designet for å gi høye beskyttelsesnivåer mot molekyler (gasser), nanopartikler og partikler fra renromsutstyr, prosesser og produkter. Tak bruker laminært eller turbulent luftstrøm, avhengig av rensromsdesign.
Ofte er den opprinnelige innkjøpsprisen på ventilasjonsfiltre eller støvfiltreringssystemer bare toppen av isfjellet. De reelle kostnadene for energi, vedlikehold og avfallshåndtering lurer under overflaten. For å ta den mest økonomiske beslutningen i det lange løp, vil en detaljert beregning som tar hensyn til alle faktorer, bidra til å redusere de totale kostnaden
Elektronikk og optikk Mat & drikke Helsevesen og livsvitenskap Offentlige & kommersielle bygninger Forskrifter & standarder Bærekraft Maskineri & produksjon
CamCarb XG er utviklet for å spare energi og vedlikeholdskostnader i applikasjoner med molekylær forurensningskontroll.
Elektronikk og optikk Mat & drikke Offentlige & kommersielle bygninger
What are some of the challenges moving forward to achieve healthy and energy-efficient indoor air environments? And what are some of the new air filtration solutions that could potentially become a reality in the years to come?
Det er ikke alle våre kunder som er eksperter på luftfiltrering, og ikke trenger de å være det heller. I Camfil City kan du lett tilegne deg basiskunnskaper om våre renluftsløsninger og hva de kan gjøre for både helsen og produktiviteten på arbeidsplassen.
Noen av effektene av korrosjon er betydelige skader på historiske monument. Korrosjon forårsakes av luftforurensning - et stadig økende problem over hele verden.
Norge